日本ULVAC公司目前生产的射频RF电源RFS-N系列＋�/span>

包括RFS-1305N输出500W，RFS-1310N输出1KW两种.

频率�?3.56MHz.配备高效RF放大器，小型化轻量化.

内藏有自动匹配控制，通过分体式操作面板，

既可控制功率输出及匹�?自动计算异常反射CUT时间，快速遮断电弧重�?

特长:

1.采用频率13.56MHz高效放大�?通过高效功率变换电路节省能源.

2.通过高速匹配步进电机控制变�?

3.RF电源内藏自动匹配控制，通过一个标配控制器既可操作控制电源及匹配器.

4.高逞�/span>�?/span>�?/span>匹配，速度�?/span>.可匹配覆盖范図�/span>幾�/span>.

5.平稳实现外部模拟控制，串行通信控制.甴�/span>源本体与触摸屏呈分体弎�/span>

6.两台吋�/span>旵�/span>工作旵�/span>，可三百六十�?/span>谂�/span>整相佌�/span>.

7.强制空冷.

参数:

射频电源本体

型号RFS-1305NRFS-1310N

输入AC180V~240V单相AC180V~240V单相

输入容量1.2kVA以下2.0kVA以下

振动频率13.56MHz��0.05%13.56MHz��0.05%

**进行波输凹�/span>500W1000W

**反射波电劚�/span>100W100W

线�?/span>额定输出��2%以下额定输出��2%以下

外形尺寸240Wx500Dx150H240Wx500Dx150H

质量12kg以下12kg以下

匹配�?/span>

型号MBX-1305NMBX-1301N

电大允许电力500W1000W

输出阻抗R:0.5���?/span>R�?/span>10.0��R:0.5���?/span>R�?/span>10.0��

冷却方式强制空冷强制空冷

外形尺寸375Wx250Dx170D375Wx250Dx170D

质量10kg10kg

耐电�?/span>40A40A

耐电厊�/span>2.5kV(0-peak)2.5kV(0-peak)