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日本ULVAC公司的蒸发源(EB?均采用磁场偏?并防止蒸发材料污染的构?
特点推荐EGN系列平顶结构如下:
特点:
一平顶结构.防止飞溅.
1平顶结构能让从坩埚中产生的二次电子很难通过反射飞溅打到基片?造成污染.
2平顶结构使得人们追求?80?/span>
偏转成为可能.平项结构皃strong>电子?/strong>,顶端不易附着沉积?既便长期使用后会有少许生成,因其没有
任何羁绊,使得清洁非常容?
事/span>易于拆解.方便维护.
1通过结构的优化,减少使用琐碎零件的数?
意味着后期维护工作的大幅轻?零件数量减少35%,既将来的清洗维护的工作量减?5%+/span>
2采用新式结构型零?
采用了两点定位的导轨定位销.不会造成装错的现?让得普通的操作人员也可以进行拆?组装电子?/strong>.
降低维护门槛.
3采用长寿命灯?
灯丝寿命是其他公司的三?能减少因断丝而造成的不必要的意外停?
丈/span>数字式控制系统及快速的灭弧重启系统.
1关于通过采用数字化的控制界面调整发射功率 调整是电子束形状.保证扫描图形.并有多种人性化
用户可操作界?
2对于蒸发材料上生成氧化物后,电弧不稳,或干脆灭弧的现象,配备有快速重启功?速度是其他公司的二十倍之?
EGN-206M/406MEGP-1G
维护用备件数量精?平顶构速/span>180度偏转,长寿命灯?
冷却均匀.保证高镀膜速率.精准转向.稳定的长时间
轻松方便地调整发射角?/span>保持电子束流中心位置.
安全的地线设讠/span>和形?维护后装回过稊/span>
由专业制具辅?轻松完成
坩埚定位.
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