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韩国样本
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SNE-3200M型扫描电镜是韩国SEC公司研制的多功能、经济型Mini-SEM。其分辨率为15 nm,小型光圈构造实?*6万倍的放大倍率;支持二次电子成像与背散射电子成像,适用于质量管理、研发、教育等目的;可通过U.I界面中鼠标控制简单、方便地操作3轴载台移动;能在双视图模式下同时对SE/BSE图像进行查看与存档。该款电镜简化了操作步骤,让熟练度不高的操作人员或学生使用起来更为便捷、/span>
技术参数:
电子光学系统 | 分辨玆/span> | 15nm (30kV 二次电子成像) 20nm'/span>30kV 背散射电子成僎/span>)(/span> |
放大倍率 | 20x~60?00x | |
加速电厊/span> | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
探测?/span> | 二次电子探测器(SE(/span> 背散射电子探测器'/span>BSE(/span> | |
电子?/span> | 预对中钨灯丝 | |
载台系统 | 载台运动 | 3轴系绞/span> (X Y R) X Y-轳/span>: 35mm / R-轳/span>: 360 * 影像偏移 : 150m |
**样品尺寸 | 70mm?#934;(/span>*30mm'/span>H(/span> | |
成像系统 | 自动功能 | 自动启动,自动聚焦,自动消像散,自动调节对比与亮?/span> |
图像格式 | BMP JPEG PNG TIFF | |
真空系统 | 真空模式 | 髗/span>&低真穹/span> |
真空泴/span> | 旋转式机械泵/涡轮式分子泵(全自动(/span> | |
尺寸与重野/span> | 主机 | 390(W)x380(D)x560(H)mm 83kg |
控制单元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm 37kg | |
旋转泴/span> | 400(W)x160(D)x340(H)mm 24kg |
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