看了韩国SEC SNE-4500M型高分辨台式扫描电镜的用户又看了
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SNE-4500M型扫描电镜是韩国SEC公司研制的高分辨、自动化、经济的高端型号Mini-SEM,具备与大型扫描电镜同等的分辨率。该设备实现了大电镜的小型化处理,放大倍率高达10万倍;装载易于使用的可变光阑,可达?nm图像分辨率,是台式电镜中分辨?*的设备;作为**一?轴载台的Mini-SEM 能同时运用鼠标控制与快捷键移动样品进行全方位分析;可通过多种扫描模式与测试工具获得多种分析结果。广泛应用于材料科学、生命科学、教育、鉴定、工业、电子、环境、能源等领域、/span>
仪器配置
型号 |
参数 |
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SEM basic |
SNE-4500M |
分辨率:5nm,放大倍数?00?00倍,探测器:二次电子(SE),电压??0kv,样品台:X,Y,R,Z,T五轴/手动控制,真空:髗/span> |
?/span> |
台式电脑(或笔记本电脑)/因特尔处理器,硬盘:500GB,RAM缓存:4GB |
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显示器(21.5英寸(/span> |
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机械泵(装配;软管);SEM备用零件(灯丝,试件台,夹具,扳手……)Cable; Connecting 连接电缆 |
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SEM Additional accessories |
背散射探测器,类型:固?通道 |
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自动轴控刵/span> -Type: X,Y,R(3-axis)/DC Type(Basic);类型:X,Y,R(3?/DC?标配) |
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EDS System EDS系统 |
element |
分辨率:129 电子 / 元素范围:从B 到Am 反应区域?5mm2 C系列Si3N4窗口,软件:TEAM(频谱分析,图像,多点,线扫描,数据记录(/span> |
? SNE-4500M型扫描电镛/span>
技术参?/span>
电子光学系统 |
分辨玆/span> |
5nm (30kV 二次电子成像) |
放大倍率 |
20x~100?00x |
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加速电厊/span> |
1~30kV (1/5/10/15/20/30) |
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探测?/span> |
二次电子探测器(SE(/span> |
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电子?/span> |
预对中钨灯丝 |
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载台系统 |
载台运动 |
5轴系 (X Y R Z T -手动) |
X Y-轳 40mm / R-轳 360 |
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Z-轳 0~35mm / Tilt- : 0~45 |
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* 影像偏移 : 150m |
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**样品尺寸 |
80mm?#934;?35mm(H(/span> |
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成像系统 |
自动功能 |
自动启动,自动聚焦,自动消像散,自动调节对比与亮?/span> |
图像格式 |
BMP JPEG PNG TIFF |
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真空系统 |
真空模式 |
高真空(低真空可选) |
真空泴/span> |
旋转式机械泵/涡轮式分子泵(全自动(/span> |
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尺寸与重野/span> |
主机 |
390(W)x380(D)x560(H)mm 88kg |
控制单元 |
390(W)x325(D)x560(H)mm 37kg |
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旋转泴/span> |
400(W)x160(D)x340(H)mm 24kg |
EDS(elment)介绌/span>
EDS (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)是装载在SEM(电子显微?上的可以对样品表面进行成分分析的设备。电子束轰击样品表面后,可产生多种信号,EDS探测器通过检测其中的特征X-Ray,进行定性和定量分析。用户可采用线扫、面扫等模式,进行点、线、面等多区域多样的表面成分分析,并生成不同格式的结果报告。赛可所有电镜型号都可以装载EDS探测器,其搭载的袖珍EDS和大型电镜配备的EDS具有相同的性能,且不需液氮,操作快速、简便、/span>
(a) 定性定量分枏/span>
提供快速精准的定性及定量分析结果,面,点等多领域多样的表面成分分析,如图2、/span>
- 自动分离重叠峰值, 提供高信頼性结果、/span>
? 赛可台式扫描电镜EDS图谱
(b) 线扫(Line Scan(/span>
根据使用者指定的直线来进行分析,可以明显区分各元素差异,如图3、/span>
? 赛可台式扫描电镜EDS线扫国/span>
(c) 面扫(Mapping(/span>
以不同颜色区分各元素所在区域,如图4、/span>
? 赛可台式扫描电镜EDS面扫国/span>
自动轴控刵/span>
在标配的手动控制载台上搭载电动控制,可以对载台在X/Y/R三轴的移动进行自动控制,使样品移动更简单、/span>
用户可以利用控制界面进行位置移动,在软件中双击鼠标,位置回归中心点、/span>
? 自动化平?/span>
设备应用展示
晶圆 (SE/10 kV/30?00x) |
氮化?SE/15 kV/10?00x) |
二氧化硅(SE/20 kV/30?00x |
氧化锌(SE/5 kV/15?00x(/span> |
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