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随着“超越摩尔定律”技术的普及,封装和组装相关缺陷变得越来越难以识别。互连更加精细、更加复杂;芯片和封装被堆叠并平铺为复杂结构。焊点间距更小,而基板则采用更高的图案密度和嵌入式组件。缺陷在不断增加,缺陷检测则变得更加困难、/span>
通过使用具有**灵敏度的高分辨率锁相热成 (LIT),ThermoScientific? ELITE?系统为各种缺陷类型的通孔封装缺陷、片上缺陷甚至板载电气缺陷的定位提供了一套重要解决方案,这些缺陷包括电源或线路短路、ESD 缺陷、电流泄漏、氧化伤害、缺陷晶体管和二极管、器件闩锁以及电阻性开路、/span>
ELITE ?*款可为二维和三维器件提供动态无损实 LIT 的完全集成系统。作为市?**,ELITE 系统的设计采用专有的高灵敏度 InSb 摄像头、定制光学器件和高级算法,具有出众的性能,并可以?短时间内获得结果,通过为失效分析工程师提供根本原因分析所需的关键信息,有效缩短分析学习的周期、/span>
另外,由于具有所有无损技术中**的热灵敏度,ELITE 系统能够检?*挑战性的缺陷,无需开封检查或从封装中取出芯片,甚至无需 IC 器件进行剥层,因而消除了使用有损方法时意外遗漏故障的风险、/span>
此外,ELITE 系统可与其他无损技术(例如扫描声学显微 (SAM) 或二维和三维 X 射线技术)相结合,通过传递故障位置的精确 x y z 坐标,加快获得结果的速度并提高成功率,从而在需要深度信息或存在微小特征时显著缩 X 射线 SAM 的搜索半径并缩短检查时间。ELITE 系统还提供配备固体浸没透镜 (SIL) S-LSM 选项的高分辨率光学器件,可实?*水平的分辨率和图像质量、/span>
主要优势9/strong>
完全无损+/span>无需开封检查,无需逆向处理,没有遗漏或损害缺陷证据的风?/span>
快速识精确定位集成电路板上的缺陷元仵/span>
定位缺陷在x-y方向有微米精度,深度定位精度20 m
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