金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>真空
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>-
非金属电热元件:
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用途:可用于以碳氢气体(如C3H8等)为碳源的复合材料的化学气相沉积,如C/C复合材料、SiC复合材料等的CVD、CVI处理.
特点9/strong>
●采用先进的控制技术,能精密控制气体的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;
●采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
●采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好:/p>
●对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理:/p>
●采用防腐蚀真空机组设计,持续工作时间长,维修率低、/p>
沉积炉主要配?/strong>
●炉门:丝杠升降//液压升降/;手动锁?自动锁圈锁紧
●炉壳:全碳?内层不锈?全不锈钢
●炉胆:软碳?软石墨毡/硬质复合毠/p>
●加热器:等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石?/p>
●工艺气路系统:体积/质量流量计;手动阀/自动阀;进?国产
●真空泵和真空计---进口/国产
●人机界面:触摸?工控朹/p>
●电器元件:正泰/施耐德/西门孏/p>
参数\型号 | JR-CJL-Φ30×50 | JR-CJL-Φ60×80 | JR-CJL-Φ80×120 | JR-CJL-Φ100×150 | JR-CJL-Φ110×200 |
容积(L(/p> | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899 |
**温度(℃(/p> | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
工作区尺寸D×H(mm(/p> | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
控温方式 | 日本岛电温控?/p> | ||||
加热方式 | 电阻加热 | ||||
真空系统 | 抗污泵或滑阀?罗茨泴/p> | ||||
烧结气氛 | 碳氢气体筈/p> | ||||
额定电源电压(V) | 380 | ||||
额定加热电压(V) | 根据设计确定,配置炉前变压器 | ||||
真空极限?Pa) | 6X10ˉ²(真空冷态) |
暂无数据