用途：

CVD气相沉积炉用于烧结碳碳及碳陶复合材料产品.

主要配置９�/span>

1.卧式炉体，双层炉体结构，水冷夹套设计、�/span>

2.炉膛内由发热元件，保温层，测温热电偶，监测热电偶组成

3.发热元件沿炉膛内壁均匀布置，有利于加热，温度均匀性好

4.PLC加触摸屏/工控机操作方式，有报警功能，自动化程序高,安全可靠

技术特征：

1.采用进的控制技术，胼�/span>精确控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小：�/span>

2.采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强�?nbsp;

3.采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好：�/span>

4.对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理：�/span>

5.采用全新设计防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低、�/span>

产品规格９�/span>

参数型号	VCVD-0508- SIC	VCVD-1218- SIC	VCVD-1520- SIC
工作区尺寸W×HXL（mm（�/span>	600×600×1200	1000×1000×1200	1200×1200×2000
装载重量（kg（�/span>	300	1000	2000
温度（℃（�/span>	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±7	±10	±10
加热功率（kW（�/span>	130	300	500
极限真空度（Pa（�/span>	20	20	20
压升率（Pa/h（�/span>	0.67	0.67	0.67