半导体电阻率测试�?参数-价格-中国粉体罐�/title>

<p><span>*</span>联系亹�/p> <input name="CName" type="text" placeholder="请输入您的姓�?/> </div> <div class="fxp_inp"> <p><span>*</span>单位名称</p> <input type="text" name="GuestType" placeholder="请输入您的单位名�?/> </div> <div class="fxp_inp"> <p><span>*</span>电子邮箱</p> <input type="email" name="Email" emailneed="1" placeholder="请输入您的电子邮�?/> </div> <div class="fxp_sj"> <p><span>*</span>手机叶�/p> <input type="text" name="Phone" placeholder="请输入您的手机号"/> </div> </form> </div> <div class="fxp_sub" onclick="return submitMsgFormByID('PopMsgFrom');" >提交</div> <div class="fxp_xieyi">点击提交代表您同� <a href="//www.znpla.com/index/service/registrationagreement.html" target="_blank">《用户服务协议《�/a>叉�a href="//www.znpla.com/index/about/privacy.php" target="_blank">《隐私协议《�/a></div> </div> </div> </div>  <div class="dhxj"> <div class="dhxjbox"> <img src="//www.znpla.com/index/image24/close.png"/ class="dhxj_gb" onClick="close_telpopwin();"> <div class="dhxjbox_top"> <div class="dhxjbox_top_left"> <div id="nowvtel"></div> <p>虚拟号将� <span id="exptime">180</span> 秒后失效</p> </div> <div class="dhxjbox_top_rig"> <div id="telewm"></div> <p>使用微信扫码拨号</p> </div> </div> <div class="dhxjbox_bot"> 为了保证隐私安全，平台已启用虚拟电话，请放心拨打(暂不支持短信) </div> </div> <div class="dhxjbox2"> <span class="dhxj_gb2">×</span> <div class="dhxjbox2_tit">是否已沟通完戏�/div> <div class="dhxjbox2_tit2">您还可以选择留下联系电话，等待商家与您联糺�/div> <form id="TelPopMsgFrom" resultokclosewin="1" action="" method="post" onsubmit="return false;"><input name="FromPID" id="telafterfrompid" type="hidden" value="212956" /> <input type="hidden" name="CID" id="telaftercid" value="29486" /> <input type="hidden" name="leavetype" value="1" /> <div class="dhxjbox2_form"> <div class="dhxjbox2_form_inp"> <p>需求描�?/p> <input type="text" name="Content" placeholder="请输入您的需求描�?/> </div> <div class="dhxjbox2_form_inp"> <p>单位名称</p> <input type="text" name="GuestType" placeholder="请输入您所在单�?/> </div> <div class="dhxjbox2_form_inp"> <p>联系亹�/p> <input type="text" name="CName" placeholder="请输入您的联系人姓名"/> </div> <div class="dhxjbox2_form_inp"> <p>联系电话</p> <input type="text" name="Phone" placeholder="请输入您的联系电�?/> </div> <div class="dhxjbox2_form_inp"> <p>Email</p> <input type="email" name="Email" placeholder="请输入您的邮�?/> </div> </div> <div class="dhxjbox2_but"> <div>已与商家取得联系</div> <a href="javascript:void(0);" onclick="return submitMsgFormByID('TelPopMsgFrom');" >同意发送给商家</a> </div> </form> </div> </div> <script> var _cpjj = ""; var _cxd = ""; var _xgfa = ""; var _xgzl = ""; var _yhpl = ""; var _gsdt = ""; var _wsj = ""; $(function(){ // 留言询价显示 $(".js_lyxj").click(function(){ showliuyan(this, 0); }); $(".fxp_gb span").click(function(){ $(".fxp").css("display","none"); }); $(".dhxj_gb2").click(function(){ $(".dhxj").css("display","none"); $(".dhxjbox").css("display","block"); $(".dhxjbox2").css("display","none"); }); $(".dhxjbox2_but div").click(function(){ $(".dhxj").css("display","none"); $(".dhxjbox").css("display","block"); $(".dhxjbox2").css("display","none"); }); // 切换 $(".fixdbox_main_left a").click(function(){ $(".fixdbox_main_left a").css({"color":"#4F5862","border-bottom-color":"transparent"}); $(this).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); }); $('.js_cpjj').click(function(){$('html,body').animate({scrollTop:$('.cpjj').offset().top-60}, 800);}); $('.js_cxd').click(function(){$('html,body').animate({scrollTop:$('.cxd').offset().top-60}, 800);}); $('.js_xgfa').click(function(){$('html,body').animate({scrollTop:$('.xgfa').offset().top-60}, 800);}); $('.js_xgzl').click(function(){$('html,body').animate({scrollTop:$('.xgzl').offset().top-60}, 800);}); $('.js_yhpl').click(function(){$('html,body').animate({scrollTop:$('.yhpl').offset().top-60}, 800);}); $('.js_gsdt').click(function(){$('html,body').animate({scrollTop:$('.gsdt').offset().top-60}, 800);}); $('.js_wsj').click(function(){$('html,body').animate({scrollTop:$('.wsj').offset().top-60}, 800);}); _cpjj = $(".cpjj").offset().top-60; _cxd = $(".cxd").offset().top-60; _xgfa = $(".xgfa").offset().top-60; _xgzl = $(".xgzl").offset().top-60; _yhpl = $(".yhpl").offset().top-60; _gsdt = $(".gsdt").offset().top-60; _wsj = $(".wsj").offset().top-60; }); $(window).resize(function(){ _cpjj = $(".cpjj").offset().top-60; _cxd = $(".cxd").offset().top-60; _xgfa = $(".xgfa").offset().top-60; _xgzl = $(".xgzl").offset().top-60; _yhpl = $(".yhpl").offset().top-60; _gsdt = $(".gsdt").offset().top-60; _wsj = $(".wsj").offset().top-60; }); $(document).scroll(function(){ if($(this).scrollTop() >= _cpjj){ $(".fixdbox").css({"display":"block"}); }else{ $(".fixdbox").css({"display":"none"}); } $(".fixdbox_main_left div").css({"color":"#4F5862","border-bottom-color":"transparent"}); if($(this).scrollTop()>=_wsj){ $(".fixdbox_main_left div").eq(6).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); }else if($(this).scrollTop()>=_gsdt){ $(".fixdbox_main_left div").eq(5).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); }else if($(this).scrollTop()>=_yhpl){ $(".fixdbox_main_left div").eq(4).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); }else if($(this).scrollTop()>=_xgzl){ $(".fixdbox_main_left div").eq(3).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); }else if($(this).scrollTop()>=_xgfa){ $(".fixdbox_main_left div").eq(2).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); }else if($(this).scrollTop()>=_cxd){ $(".fixdbox_main_left div").eq(1).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); }else if($(this).scrollTop()>=_cpjj){ $(".fixdbox_main_left div").eq(0).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); } }); function showliuyan(me, showtype){ if(showtype==0){ //$("#Content").val($("#Content").attr('placeholder')); Content= document.getElementById('PopMsgFrom').Content.getAttribute('placeholder'); document.getElementById('PopMsgFrom').Content.value=Content; } if(showtype==1){ // $("#Content").val($(me).text()); alert($(me).text()); document.getElementById('PopMsgFrom').Content.value=$(me).text(); } $(".fxp").css("display","flex"); } function close_popwin(){ $(".fxp").css("display","none"); // 关闭虚拟电话后的留言� $(".dhxj").css("display","none"); $(".dhxjbox").css("display", "none"); $(".dhxjbox2").css("display", "none"); return false; } </script>  <div class="cpjs"> <div class="cpjs_tab"> <div class="js_cpjj" style="border-bottom: 3px solid #1479d7; color: #1479d7;">产品介绍</div> <div class="js_cxd">创新炸�/div> <div class="js_xgfa">相关方案</div> <div class="js_xgzl">相关资料</div> <div class="js_yhpl">用户评论</div> <div class="js_gsdt">公司动�?/div> <div class="js_wsj">问商宵�/div> </div> <script> $(function(){ // 切换 $(".cpjs_tab a").click(function(){ $(".cpjs_tab a").css({"color":"#4F5862","border-bottom-color":"transparent"}); $(this).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); }); }); </script>  <div class="cpjj"> <p><span><strong>半导体电阻率测试�?/strong></span></p><p><span>一、概�?/span></p><p><span>BD</span><span>-86A垊�strong>半导体电阻率测试�?/strong>是根据四探针测试原理研制成功的新型半导体电阻率测试器，适合半导体器件厂、材料厂用于测量半导体材料（片状、棒状）的体电阻率、方块电阻（薄层电阻），也可以用作测量金属薄层电阻、导电薄层电阻，具有测量精度高、范围广、稳定性好、结构紧凑、使用方便、价格低廉等特点、�/span></p><p><span>仪器分为电气箱和测试架两大部分，电气箱由高灵敏度直流数字电压表，高稳定、高精度的恒流源和高性能的电源变换装置组成，测量结果田�/span>LED数字显示，零位稳定，输入阻抗极高。在片状材料测试时，具有系数修正功能，使用方便。测试架分为固定式和手持式两种，探头的探针具有宝石导向，测量精度高、游移率小、耐磨和使用寿命长等特点，而且探针压力可调，特别适合薄片材料的测量、�/span></p><p><span>二、主要技术指栆�/span></p><p><span>1.测量范围９�/span></p><p><span>电阻率：</span>10</span><sup><span>-3</span></sup><span>--10</span><sup><span>3</span></sup><span>��㎝（可扩展到10</span><sup><span>5</span></sup><span>��㎝），分别率10</span><sup><span>-4</span></sup><span>��㎝、�/span></p><p><span>方块电阻９�/span>10</span><sup><span>-2</span></sup><span>--10</span><sup><span>4</span></sup><span>��/□（可扩展到10</span><sup><span>6</span></sup><span>��/□），分辨率10</span><sup><span>-3</span></sup><span>��/□、�/span></p><p><span>薄层金属电阻９�/span>10</span><sup><span>-4</span></sup><span>--10</span><sup><span>5</span></sup><span>��，分辨率10</span><sup><span>-4</span></sup><span>��、�/span></p><p><span>2.数字电压表：</span></p><p><span>电压表量程为</span>3档，分别�?0mV档（分辨�?0��V)�?00mV�?分辨�?00��V)�?V档（分辨�?mV)。电压表测量误差��0.3%读数��1字，输入阻抗大于10</span><sup><span>9</span></sup><span>��、�/span></p><p><span>3.恒流源：</span></p><p><span>恒流源由交流供电，输出直流电�?/span>0---100mA连续可调。恒流源量程�?档，分别�?0��A�?00��A�?mA�?0mA�?00mA；分辨率对应�?0nA�?.1��A�?��A�?0��A�?.1mA。电流误�?#177;0.3%读数��2字、�/span></p><p><span>4.测试架：（可选件（�/span></p><p><span>测试架分为固定和手持两种，可测半导体材料尺寸为直徃�/span>��15--��600㎜。测试探头探针间距S=1㎜，探针机械游移�?#177;0.3%，探针压力可调、�/span></p><p><span>5.显示�??位LED数字显示0-1999，能自动显示单位、小数点、极性、过载、�/span></p><p><span>6.电性能：电性能模拟考核误差�?#177;0.3%，符合ASTM规定指标、�/span></p><p><span>7.电源�?20V��10%�?0Hz�?0Hz，功耗﹤30W、�/span></p><p><span>8.电气箱外形尺寸：440��320��120㎜、�/span></p><p><span>三、工作原琅�/span></p><p><span>直流四探针法测试原理简介如下：</span></p><p><span>＇�/span>1）体电阻率测量：</span></p><p></p><p><span>如图：当</span>1�?�?�?根金属探针排成一直线时，并以一定压力压在半导体试样上，�?�?两处探针间通过电流I，则2�?探针间产生电压差V、�/span></p><p><span>材料的电阻率</span>��=（V/I�?#215;C �?#937;㎝） .......3-1</span></p><p><span>弎�/span>3-1中：C为探针系数，由探针几何位置决定，</span><strong><span>当试样电阻率分布均匀，试样尺寸满足半无限大条件时＋�/span></strong><strong></strong></p><p><span>C=2�С�{1/S1+1/S3-1/(S1+S2)-1/(S2+S3）}=2��FSP......3-2</span></p><p><span>弎�/span>3-2中：S1、S2、S3分别为探�?�?�?�?�?�?之间的距离。当S1=S2=S3=1mm时，则FSP=1，C=2��。若电流取I=C时，</span></p><p><span>电阻玆�/span>��=V，可由数字电压表直接读出、�/span></p><p><span>①、块状和棒状晶体电阻率测量：由于块状和棒状样品外形尺寸与探针间距比较，合乎半无限大的边界条件，电阻率值可以直接由公式3-1�?-2式求出、�/span></p><p><span>②、薄片电阻率测量：由于薄片样品厚度和探针的间距相比，不能忽略。测量时要提供样品的厚度、形状和测量位置的修正系数、�/span></p><p><span>电阻率值可由下面公式得出：</span></p><p><span>��=V/I��2��S��FSP��G(W/S)��D(d/s)= ��</span><sub><span>0</span></sub><span>��G(W/S)��D(d/s)...3-3</span></p><p><span>式中９�/span>��</span><sub><span>0</span></sub><span>为块形体电阻率，</span>W为试片厚度，S为探针间距，G（W/S）为样品厚度修正函数，D(d/s)为样品形状和测量位置修正函数、�/span></p><p><span>③、方块电阻、薄层电阻测量：当半导体薄层尺寸满足半无限大平面条件时：</span></p><p><span>R■���/ln2��(V/I)=4.532(V/I) ........3-4</span></p><p><span>若取</span>I</span><sup><span>1</span></sup><span>=4.532I，则R□值可由电压表直接读出、�/span></p><p><span>注意：以上的测量都在标准温度</span>(23</span><sup><span>0</span></sup><span> C)下进行，若在其他温度环境中测量，应乘以该材料的温度修正系数FT、�/span></p><p><span>FT=1-CT（T23</span><sup><span>0</span></sup><span>（�/span> ..........3-5</span></p><p><span>式中９�/span>CT为材料的温度系数。（请根据不同材料自行查找）</span></p><p><span>＇�/span>2）金属电阻测试：本仪器也可用作金属电阻的测量，采用四端子电流-电压降法，能方便的测量金属电阻R，测量范围从100�̦�---200K</span></p><p><span>四、仪器结枃�/span></p><p><span>本仪器为台式结构，分为电气箱和测试架两大部分、�/span></p><p><span>』�/span>1】电气箱为仪器主要电器部分，电气箱前面板如图4-1所示：</span></p><p></p><p><span>图中９�/span>1-电源开� 2-显示� 3-电流量程开 4-电压量程开� 5-工作方式开� 6-测量选择开� 7-信号输入端口 8-调零电位� 9-电流调节电位� 10-电流开� 11-极性转换开兲�/span></p><p><span>电气箱后面板如图</span>4-2所示：</span></p><p></p><p><span>前面板功能说明：</span></p><p><span>1-(POWER)-电源220V控制开关、�/span></p><p><span>2-LED显示屏：3 ?位LED数字显示�?-1999），自动显示小数点、单位和过载，测试方块电阻时，单位m��cm当作m��/□，测量金属电阻时，单位m��㎝当作m��、�/span></p><p><span>3-(I RANGE)-电流量程开�?档（10��A/100��A/1mA/10mA/100mA)�?-(V RANGE)-电压量程开�?档（20mV/200mA/2V)：�/span></p><p><span>5-(FUNCTION)-工作方式开�?档，从左到右分别是�?.53”档为输入电压�?#215;4.532，测量方块电阻用；�?.28”档为输入电压�?#215;0.628，测量电阻率用；“I”档为输入电�?#215;1，测量金属电阻用；“I ADJ”电流调节档，和电流调节电位器配合使用，用于调节输出电流；“CAL”自校档，自校值�?99X”、�/span></p><p><span>6-(MEAS.SEL)-测量选择开关为两档开关，“SHORT”短路档、“MEAS”测量档、�/span></p><p><span>7-(INPOT)-信号输入端口�?芯端口，是电压降信号输入和恒流电流输出的端口、�/span></p><p><span>8-（ZERO ADJ)-调零电位器，当我们在测试时，如果样品接触良好，在不加电的情况下，数字电压表读数应归零，如有偏差时，可通过调零电位器调节归零、�/span></p><p><span>9-(I ADJ)-电流调节电位器，可连续调节电流输出�?---1000（满刻度），与工作方式开关“I ADJ”配合使用，也可作为修正系数输入用、�/span></p><p><span>10-（CURRENT)-电流开关为电流加电开关，按入时，电流输出；退出时，电流断开、�/span></p><p><span>11-（POLARITY)-极性转换开关，可改变电流输出的正负极性、�/span></p><p><span>』�/span>2】测试架：测试架分为固定和手持式两种，根据使用环境的不同可自行选择，固定式测试架适合高精度的测量，探头固定在专用的测试架上，在实验室条件下，进一步提高了测量精度（见�?-4）。手持式Z大的优点是携带方便、测量方便，可直接在生产现场使用（见�?-3）、�/span></p><p><span>手持式测试探头简国�/span>4-3所示：</span></p><p></p><p><span>图中９�/span>1-测试导线 2-手柄 3-压力调节� 4-测试支架 5-探头和探钇�/span></p><p><span>固定式测试架简图（</span>4-4）所示：</span></p><p></p><p><span>国�/span>(4-4)固定式测试架</span></p><p><span>图中９�/span>1-支杆 2-支架� 3-滑块 4-滑块调节（上下） 5-探头支架 6-探头和探� 7-可移动平台（前后� 8-滑槽 9-底板 10-支架块固定杆 11-探头导线</span></p><p><span>五、使用和操作</span></p><p><span>（一）、测试准备：</span></p><p><span>1.将仪器和试样放置在温�?3</span><sup><span>0</span></sup><span>C��2</span><sup><span>0</span></sup><span>C，湿度﹤65%的工作环境中、�/span></p><p><span>2. 测试架和电气箱用输入输出连线连接好，仪器接通电源，工作方式开关置于短路位置，电流开关退出，接�?20V电源，仪器预热半小时、�/span></p><p><span>3.测试架调好位置，放上试样，使探头与试样良好接触、�/span></p><p><span>(�?、测试：</span></p><p><span>1.将工作方式开关置于“I调节”，按入电流开关，并调节电流电位器，使数字显示为你需要的电流值、�/span><strong><span>注意９�/span></strong><span>测试块状、棒状晶体和薄层方块电阻试样时，请调节电流电位器�?/span>�?000”，当测量薄片电阻率时，请根据试样厚度，查表得到修正系数值（厚度修正系数表见说明书末页），调节电位器到修正值。例如硅片厚�?.23㎜，查表得到0.1659，调节电流电位器，使显示值为166、�/span></p><p><span>2.根据被测材料，选择电压和电流量程，使显示值达到我们需要的精度、�/span></p><p><span>3.测量选择开关置于“测量”位置，根据不同的试样，工作方式开关置于不同位置，①块状、棒状样品和薄片样品电阻率测试请把开关放到�?.28”档；②薄层电阻测试请放到�?.53”档；③金属电阻测试请放到“I”档、�/span></p><p><span>4.检查显示屏显示是否�?00，可以通过调零电位器，调整零位，使显示值为�?00”、�/span></p><p><span>5.现在按入电流开关，应有显示，可配合电压和电流量程开关再一次调整，使显示值为我们需要的精度值。然后极性开关反转，把两次显示值平均后的值，即是我们要测量的值、�/span></p><p><span>（三）、注意事项：</span></p><p><span>1.以上电阻率测试是在环境温�?3℃下的值，如测试时环境温度有变，请考虑温度修正（温度修正系数Ft请用户根据不同材料自行查找，见公�?-5），输入K值时，K=Ft��K(修正�?3℃）。实际测量，在输入电流值时，请乘以Ft值为电流实际输入值。例如：块状样品测试，“I ADJ”输入值为1000，此时我们应输入1000��Ft，测得的电阻率值是23℃时的修正值、�/span></p><p><span>2.当工作方式开关置于�?.28”进行测量，测量显示值为电阻率；当开关置于�?.53”时，显示值应读为R/□；在“I”档测量金属电阻，显示值应读为电阻R、�/span></p><p><span>3.测试架上的探头为易损件，测量时请小心加压，测试完毕，请及时升起探头、�/span></p><p><span>六、复校和维修</span></p><p><span>1.本仪器有自校功能，仪器内部设有精密电阻，当工作在自校档，按入电流开关后，显示自校�?99X��6个字。自校档可作为检查仪器精度使用，为保证仪器测试精度，请定期对仪器进行复校，尤其是仪器进过剧烈震动和环境温度突变后，发现超差请及时送修、�/span></p><p><span>2.测试探头为易损件，请定期按照国标JJG508-87中规定，对探头进行复校。如超差，应更换新的探头、�/span></p><p><span>3.本仪器也可按照国标或ASTM84-73规定的指标和实验方法进行复校、�/span></p><p><span>七、仪器包装及附件</span></p><p><span>1.电气箱一�?/span></p><p><span>2.测试架一台（固定、手持可选）</span></p><p><span>3.四探针探头一个（已安装在测试架上（�/span></p><p><span>4.使用说明书一仼�/span></p><p><span>5.电源线一核�/span></p><p><span>6.合格证一弟�/span></p><p><span>7.四端子测试线一核�/span></p><p></p><p></p> </div>  <div class="cxd"> <div class="cxd_tit"><span></span>创新炸�/div> <p style=" color: #333; font-size: 14px; margin: 10px 0 0; line-height: 26px;"> 暂无数据� </p> </div>  <div class="xgfa"> <div class="xgfa_tit"> <div> <span></span>相关方案 </div> </div> <div class="xgfa_box" style="display: block;"><div style="padding:10px;">暂无相关方案、�/div> </div> </div> <script> $(function(){ // 切换 $(".xgfa_tit_ul li").hover(function(){ $(".xgfa_tit_ul li").css({"color":"#4F5862","border-bottom-color":"transparent"}); $(this).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); var _index = $(this).index(); $(".xgfa_box").css("display","none"); $(".xgfa_box").eq(_index).css("display","block"); }); }); </script>  <div class="xgzl"> <div class="cxd_tit"><span></span>相关资料</div> <div class="xgzl_box"><div style="padding:10px;">暂无数据、�/div> </div> </div>  <div class="yhpl"> <div class="cxd_tit"><span></span>用户评论</div> <form id="FormComments" action="" method="post" onsubmit="return false"> <input name="SaveProComments" id="SaveProComments" type="hidden" value="yes" /> <input name="ProductID" id="ProductID" type="hidden" value="212956" /> <input name="ProQuality" id="ProQuality" type="hidden" value="10" /> <input name="ProService" id="ProService" type="hidden" value="10" /> <input name="ProUsability" id="ProUsability" type="hidden" value="10" /> <input name="ProCostperformance" id="ProCostperformance" type="hidden" value="10" /> <div class="yhpl_pf"> <div> <p>产品质量</p> <div><span id="Quality" class="stars star10"></span><span id="Quality_Val" class="ScoreVal" curScore="10">10刅�/span></div> </div> <div> <p>售后服务</p> <div><span id="Service" class="stars star10"></span><span id="Service_Val" class="ScoreVal" curScore="10">10刅�/span></div> </div> <div> <p>易用�?/p> <div><span id="Usability" class="stars star10"></span><span id="Usability_Val" class="ScoreVal" curScore="10">10刅�/span></div> </div> <div> <p>性价毓�/p> <div><span id="Costperformance" class="stars star10"></span><span id="Costperformance_Val" class="ScoreVal" curScore="10">10刅�/span></div> </div> </div> <div class="yhpl_pftit">评论内容</div> <textarea name="Comments" id="ProComments" onfocus="checklogin();" placeholder="分享产品使用经验/采购评价（不超过500字）">