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激光源产生的紫?软X射线辐射是Tingen在激光实验室开发的,由高脉冲能量YAG激光器?064nm?00mJ?ns)聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布、/span>
产品特点
低残畘/span>
高EUV能量?.5 MJ(/span>
*低耗气量(气体脉冲持续时间91 ms(/span>
简单目标气体交捡/span>
桌面系统
产品应用
计量:反射测量、吸攵/span>
光谱学(nexafs(/span>
光学/传感器测诔/span>
EUV损坏调查
材料相互作用基础研究
水窗显微镜(=2..4纳米(/span>
技术参?/span>
测试数据展示
咨询电话9/span>021-64149583?/span>021-56461550?/span>021-65061775
公司邮箱9/span>info@micro***********
公司地址:上海市杨浦区黄兴路2077号蓝天大?span>21F
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