非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>真空
温控精度９/p>0.1-2.5pa
最高温度：
1600额定温度９/p>1350
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设备名称：双料室气相沉积实验炈/p>
应用领域：氧化亚硅等多种原材料气相沉积实骋br/>
工艺描述：双料室装料，归中反应，气相沉积制粉
| 型号 | 装料尺寸 | 装载野/td> | 工作温度 | 极限温度 | 真空?/td> | 总功玆/td> | 气氛类别 | 工序时长 | 设备重量 |
| MGB20-60HH | Φ200*600 | 0.04M | 1350ℂ/td> | 1600ℂ/td> | 0.1-2.5Pa | 90KW | Ar/N2 | 24 | 3T |
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