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MicroMaster 激光直写光刻机
MicroMaster 是一款多功能的紫外激光写入器，具有高精度的组件，专为用户在感光层上设计创?*自由度的微结构、/span>MicroMaster 是一个完整的操作系统。它拥有405纳米波长光学模块，能够在光阻层中写入*?.8微米的结构。这个用户友好的工具支持高达4095级的灰度或纯二进制模式，并允?D光学结构，表面结构以及掩模项目激光控制的实时自动对焦和激光强度控制，确保整个曝光过程中的高质量成像、span>MicroMaster 广泛应用亍/span>半导体光刻， LED芯片 微流控芯片， 微纳结构 灰度光刻 三维加工 全息影像等多个领域、/span>
MicroMaster 无掩模激光直写系统性能规格
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