主成分含量(%):
-制作方法9/p>-
密度(kg/m³):
-纯度9/p>-
莫氏硬度9/p>-
白度9/p>-
目数9/p>-
品级9/p>-
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Showerhead,应用于半导体集成电路制程刻蚀设备中,在晶圆制造刻蚀环节,作为附加电压的电极,还作为是刻蚀气体进入腔体的通路,是晶圆制造刻蚀环节所必需的核心部件、/p>
技术优劾/p>
1.原料自制品质可控,具有成熟的加工和清洗技术,可以满足客户不同的表面状态需求、/p>
2. 气孔内壁加工后无破碎层、/p>
3.*小加工孔径为0.2mm、/p>
暂无数据