参考价栻/p>面议
型号
超高温硼化物沉积炈/span>品牌
金顶汆/span>产地
湖南样本
暂无非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>-
虚拟号将 180 秒后失效
使用微信扫码拨号
采用先进的控制技术,能精密控制H2、C3H6的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动小:/span>
全密闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
多通道工艺气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好:/span>
多级高效尾气处理系统,能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物,环境友好:/span>
可选配新设计的防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率低;
适于工艺气氛:真?H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2、/span>
参数\型号 | HCVD-101015-ZrC | HCVD-152023-ZrC | VCVD-0608-ZrC | VCVD-0812-ZrC | VCVD-1120-ZrC | VCVD-1218-ZrC | VCVD-1520-ZrC |
工作区尺 W×H×L(mm(/td> | 1000×1000×1500 | 1500×2000×2300 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
**温度(℃(/td> | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
温度均匀性(℃) | ±10/±15 | ±15/±20 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
极限真空度(Pa(/td> | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
压升率(Pa/h(/td> | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准、/p>
结构形式:卧?单开?双开门;立式-上出?下出斘/span>
炉门锁紧方式:手?自动
炉壳材质:内层不锈钢/全不锈钢
保温材质:碳?石墨?碳纤维固化毡
加热器、马弗材质:石墨/CFC
热电偶:C/S分度叶/span>
红外仪:单比?双比艱/span>
真空泵:机械泵组/耐腐蚀泵组
暂无数据
所谓复合材料是指由两种或两种以上的组分材料,运用一定的工艺技术制备组合而成的多相新材料体系,其综合性能优于各自组分材料。先进复合材料指用高性能增强体如碳纤维、芳纶等高性能耐热高聚物构成的复合材料,包?/p>