立式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特�?/h3>

电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好：�/span>

采用智能压力调控，压力波动小：�/span>

全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；

多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好：�/span>

多级高效尾气处理系统，环境友好，能高效收集焦油及副产物，易清理；

可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高；

立式化学气相沉积炉（沉积炭）产品规格

参数\型号	VCVD-0305-C	VCVD-0608-C	VCVD-0812-C	VCVD-1120-C	VCVD-1320-C	VCVD-1520-C
工作区尺寸D×H（mm（�/td>	Φ300×500	Φ600×800	Φ800×1200	Φ1100×2000	Φ1300×2000	Φ1500×2000
**温度（℃（�/td>	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±5/±10	±7.5/±10	±7.5/±15	±10/±15	±10/±15	±10/±20
极限真空度（Pa（�/td>	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h（�/td>	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻/感应	电阻/感应	电阻/感应	电阻/感应	电阻/感应	电阻/感应

参数\型号	VCVD-1822-C	VCVD-2032-C	VCVD-2632-C	VCVD-3338-C	VCVD-3344-C
工作区尺寸D×H（mm（�/td>	Φ1800×2200	Φ2000×3200	Φ2600×3200	Φ3300×3800	Φ3300×44000
**温度（℃（�/td>	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀性（℃）	±15	±15	±15	±20	±20
极限真空度（Pa（�/td>	1-100	1-100	1-100	1-100	1-100
压升率（Pa/h（�/td>	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
加热方式	电阻	电阻	电阻	电阻	电阻

以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准、�br/>

立式化学气相沉积炉（沉积炭）配置选择

结构形式：卧�?单开�?双开门；立式-上出�?下出斘�/span>

炉门锁紧方式：手�?自动

炉壳材质：全碳钢/内层不锈�?全不锈钢

保温材质：碳�?石墨�?碳纤维固化毡/陶瓷纤维毠�/span>

加热器、马弗：石墨/CFC/金属

热电偶：K/N/C/S分度叶�/span>

电源：KGPS/IGBT(仅适用于中频加�?