参考价栻/p>100-150万元
型号
卧式化学气相沉积炉（沉积炭）品牌
顶立科技产地
湖南样本
暂无非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>其他
温控精度９/p>±7.5
最高温度：
-1500额定温度９/p>-1500
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电阻炉可采用多温区独立控温，温度均匀性好：/span>
采用智能压力调控，压力波动小：/span>
全封闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流程均匀，无沉积死角，沉积效果好：/span>
多级高效尾气处理系统，环境友好，能高效收集焦油及副产物，易清理；
可选配外循环快冷系统，降温时间短，生产效率高；
| 参数\型号 | HCVD-060609-C | HCVD-101015-C | HCVD-121220-C | HCVD-151530-C | HCVD-152023-C | HCVD-252035-C |
| 工作区尺?nbsp; W×H×L（mm（/td> |
600×600×900 | 1000×1000×1500 | 1200×1200×2000 | 1500×1500×3000 | 1500×2000×2300 | 2500×2000×3500 |
| **温度（℃（/td> | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa（/td> | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h（/td> | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准、/p>
暂无数据
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