参考价栻/p>面议
型号
等离子增强系绞/span>品牌
原速光甴/span>产地
深圳样本
暂无误差率:
-分辨率:
-重现性:
-仪器原理9/p>其他
分散方式9/p>-
测量时间9/p>-
测量范围9/p>-
看了等离子增强系统的用户又看亅/p>
虚拟号将 180 秒后失效
使用微信扫码拨号
衬底尺寸:标准尺寸:200mm Dia (8 inch)(可定?
工艺温度:温度范围:RT~500°C (可定制(br/>前驱体路数:**支持6路前驱体气路(可定制),包含固、液态前驱体源瓶
加热系统:可加热温度范围:RT~150ℂ/p>
反应物路数:支持2路反应物气路(可定制(br/>载气:标准:N2, MFC 流量控制(可定制(/p>
等离子体系统:支?路等离子体气体(可定制)
射频功率?~1000W
压力监测:双薄膜规组合(耐腐蚀)?.005Torr - 1000Torr
本底真空度:<5x10-3 Torr
真空系统:标准油泴/p>
控制系统?9寸显示器,支持触控工业级嵌入式工控机,高可靠性,支持扩展
操作系统:Win7 操作系统,工业级可编程逻辑控制器,支持现场总线与实时多任务处理操作
高温加热模块:独立的源瓶加热模块,可支持RT~200ℂ/p>
暂无数据