气体团簇粒子束GCIB

简今�/strong>

PHI Ar₂₅₀₀气体团簇离子�?/strong>是进行深度分析有机物和聚合物而不破坏其化学状态的有效工具。类似于C₆₀的应用，使一次离子束得能量均分到60个碳原子上； Ar₂₅₀₀能获得更低的冲击能量，由于其团簇是由2500个氩离子构成。这种Ar₂₅₀₀GCIB氩离子在深度分析时，对样品造成的破坏很小，同时也避免了类似C-60离子溅射过程中离子堆积的可能性。总之� Ar₂₅₀₀GCIB自身非常适合深度分析，如聚亚酰胺（PI）等广泛用于半导体、太阳能电池和显示器工业的材料。ULVAC-PHI该型号产品在第五十七届国际博览会�?011�?0�?7-22日在Albuquerque, NM.举行）上被美国真空学会（AVS）授�?*展品奖、�/span>

�? - ULVAC-PHI**的Ar₂₅₀₀GCIB型离子枪

应用优势

聚亚酰胺（PI）薄膜样品用不同Ar离子束流能量溅射后，下面的表�?总结了XPS测试的溅射前后化学组成、�/span>

�? - Ar离子溅射前后聚亚酰胺（PI）样品原子浓度的汇怺�/span>

从上面的结果中，看出Ar离子溅射后聚亚酰胺样品化学组成明显改变，该样品紧接着用配有Ar₂₅₀₀GCIB的XPS进行深度剖析。如下图2所示，Ar₂₅₀₀GCIB可以非常有效地移除受损层，并将PI层恢复其原本得化学结构，由此可见，即使如PI般的样品，用Ar₂₅₀₀GCIB溅射的时也不会对化学组成造成破坏、�/span>

�? - Ar离子溅射后的受损层，经Ar₂₅₀₀GCIB剥离后，回到PI的初始状�?/span>