误差率：
*分辨率：
*重现性：
*仪器原理９/p>其他
分散方式９/p>*
测量时间９/p>*
测量范围９/p>扫描范围: 15 µm (可 30 µm) 高度信号噪声等级: 30 pm 扫描范围: 100 µm × 100 µm (可?0 µm × 50 µm)
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