【技术参数【�/strong>

样品室玻璃腔体尺寷�/span>	120mm ? x 120mm H，高强度不锈钢结构（可逈�/span>150mm x 165mm（�/span>
样品台尺寷�/span>	可放�?/span>12个标准钉形样品台，高度可�?/span>60mm内调芁�/span>
溅射夳�/span>	低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
溅射靶材	金（标配），铂，釐�/span>/钯，铁�/span>/�?/span>,银等
靶材尺寸	直径57mm x 0.1mm厚度
溅射控制系统	微处理器控制，远程电�?/span>/电压感应�?*电流40mA，程序化数字控制：�/span> 提供真空安全联锁装置，配有过流保护；
模拟计量	真空Atm - 0.001mb电流: 0 � 50mA
控制方式	自动气体换气和放气功能，带有“暂停”控制的数字定时器（0，�/span>300s（�/span>
机械泴�/span>	2L/s
工作媒介气体	氩气，纯�?位�/span>99.9%
工作电压	220V, 50/60HZ
膜厚监控仪（选配（�/span>	通过6MHz石英晶体进行原位监控，显示纳米级厚度，可精确�?/span>0.1nm
适用配套	Zeiss, JEOL, Hitachi, FEI, Tescan, Phenom等扫描电镛�/span>

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【产品详情【�/strong>

Agar全自动喷金仪（离子溅射仪）为英国进口设备，操作简单，适用于扫描电镜样品制备，可喷金、铂、金/钯、铂/钯、银等、�/span>

喷金仪使用小贴士９�/span>

1）需要溅射喷金的样品

a)**类样品是电子束敏感的样品，主要包括生物样品，塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；

b)另一类样品是非导电的样品，由于样品不导电，其表面带有“电子陷阱”，这种表面上的电子积累被称为“充电”。为了消除荷电效应，可在样品表面镀一层金属导电层，镀层作为一个导电通道，将充电电子从材料表面转移走，消除荷电效应。在扫描电镜成像时，溅射材料可以增加信噪比，从而获得更好的成像质量、�/span>

2)溅射材料

常用的溅射材料为金，导电性高、�/span>

喷金仪的真空度越高，所溅射的金属颗粒越小，可以减少样品表面形貌失真的情况。当需要超高分辨率成像时，**高真空喷金仪，同时还可以选用其他溅射材料，如：铬，铱等，溅射的晶粒更细小、�/span>

此外，如果需要做EDS能谱分析的话，建议选择喷碳仪，因碳皃�/span>X射线峰不会与其他元素的峰值发生冲突、�/span>

金靶材：

膜厚监控仪：