非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>其他
温控精度９/p>.
最高温度：
.额定温度９/p>.
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设备简介：
均温氧化扩散炈/span>应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、太阳能电池及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，可用?-8英寸工艺尺寸
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配置详情
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设备特点９/span> 1.温场均匀，恒温区长度及精度：300?250mm 800~1200℃?ℂ/span> 2.具有强大的软件功能，NBD-101EP嵌入式操作系绞/span>，用户可以方便地修改工艺控制参数，并可随时显示各种工艺状态；配有故障自诊断软件； 6.可存储多组PID参数供系统运行调用功能，具有多点温度补偿 |
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可配工艺管外徃/span> |
炉管外径152mm 适用?＂；炉管外径252mm 适用?＂； 炉管外径300mm 适用?！/span> |
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温度控制范围 |
300~1150 ℂ/span> |
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恒温区长度及精度 |
300?250mm（依客户要求定）300~800 ℂ/span>±1.5ℂ/span>, 800~1100 ℂ/span>±1ℂ/span> |
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可控升降温速率 |
升温速率：≦15ℂ/span>/min 降温速率?ℂ/span>/min |
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加热匹/span>个数 |
3区，4区，5区，6区（依客户要求定（/span> |
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送料方式 |
手动送料 |
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冷却系统 |
水冷2-4Kgf/cm2?L/min；＋上接排风冷≈25m3/min：/span> |
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轴向温场分布 |
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径向温场分布 |
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控制系统 |
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1.可预?5杠/span>工艺曲线，避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦； 2.实验过程更加直观，操作更加便捷； 3.NBD-101EP嵌入式操作系统中英文互换图形界面＋/span>10寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，非线性式样温度修正； 4.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能、/span> |
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加热腔体 |
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采用优质加热丝：KANTHAL及HRE 绝热材料：晶体纤维等 绝缘子：高纯刚玉＋/span>间距依据温场调节 端口过渡环：氧化铜/span>纤维真空成型、/span> 温区?段?/span>4殴/span>?段?/span>6殴/span> |
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真空密封系统 |
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真空度：?0Pa（机械泵（/span> |
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供气系统 |
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采用质子流量讠/span>控制气体流速，与设备集成为一佒/span>：/span> |
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可选配项目 |
1.出料口排毒气柜； 2.净化出料台：/span> 3.自动石英浆推拉舟机构 |
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设备使用注意事项 |
1.装取样片必须带石棉手套，使用石英器件小心打碎：/span> 2.选择合适的石英舟，取出清洁好的石英托板和石英拉钩； 3.安装样片插入到石英舟的槽内，用石英拉钩将石英舟推入炉管到恒温区； 4.炉管内压力不得超?.15MPa?*压力），以防止压力过?/span>引起危险：/span> 5.高真空下使用时），设备使用温度不得超迆/span>1000ℂ/span>：/span> |
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服务支持 |
一年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如炉管和密封圈等） |
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工商已核宝/p>
