新一代的赛默飞世尔科技 Helios 5 DualBeam 具有 Helios 5 产品系列业界**的高性能成像和分析性能。它经过精心设计，可满足材料科学研究人员和工程师�?广泛� FIB-SEM 使用需求，即使�?*挑战性的样品、�/strong>

Helios 5 DualBeam 重新定义了高分辨率成像的标准�?*的材料对比度�?快�?简单�?精确的高质量样品制备，用� S/TEM 成像和原子探针断层扫描（APT）以�?*质量的亚表面� 3D 表征。在 Helios DualBeam 系列久经考验的性能基础上，新一代的 Helios 5 DualBeam 进行了改进优化，所有这些都旨在确保系统处于手动或自动工作流程的**运行状态、�/strong>

半导体行业技术参数：

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		Helios 5 CX	Helios 5 HP	Helios 5 UX	Helios 5 HX	Helios 5 FX
		样品制备�?nbsp;XHR 扫描电镜成像		*终样品制�?nbsp;(TEM薄片，APT)		STEM 亚纳米成像与样品制备
SEM	着陆电厊�/td>	20 eV~30 keV		20 eV~30 keV
	分辨玆�/p>	0.6 nm@15 keV		0.6 nm@2 keV
		1.0 nm@1 keV		0.7 nm@1 keV
				1.0 nm@500 eV
STEM	分辨率@30 keV	0.7 nm		0.6 nm		0.3 nm
FIB制备过程	**材料去除束流	65 nA	100 nA	65 nA
	*�?*抛光电压	2 kV		500 V
TEM样品制备	样品厚度	50 nm	15 nm	7 nm
	自动匕�/td>	�?/td>	�?/td>	�?/td>
样品处理	行程	110×110 ×65 mm	110×110 ×65 mm	150×150 ×10 mm	100×100 ×20 mm	100×100×20mm+5轴（S）TEM Compustage
	快速进样器	手动	自动	手动	自动	自动+自动插入/提取STEM 样品杅�/td>

材料科学行业技术参数：

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		Helios 5 CX	Helios 5 UX
离子光学		具有**的大束流性能的Tomahawk HT 离子镜筒	具有**的大束流和低电压性能的Phoenix 离子镜筒
	离子束电流范図�/td>	1 pA �?nbsp;100 nA	1 pA �?nbsp;65 nA
	加速电�?/td>	500 V �?nbsp;30 kV	500 V �?nbsp;30 kV
	**水平视场宽度	在束重合点处�?.9 mm	在束重合处点�?.7 mm
	离子源寿呼�/td>	1,000 小时	1,000 小时
		两级差分抽吸	两级差分抽吸
		飞行时间校准	飞行时间校准
		15孔光阐�/td>	15孔光阐�/td>
电子光学		Elstar超高分辨率场发射镜筒	Elstar超高分辨率场发射镜筒
		磁浸没物镛�/td>	磁浸没物镛�/td>
		高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电�?/td>	高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电�?/td>
电子束分辨率	**工作距离上�/td>	0.6 nm @ 30 kV STEM	0.6 nm @ 30 kV STEM
		0.6 nm @ 15 kV	0.7 nm @ 1 kV
		1.0 nm @ 1 kV	1.0 nm @ 500 V (ICD)
		0.9 nm @ 1 kV 减速模�?
	在束流重合点	0.6 nm @ 15 kV	0.6 nm @ 15 kV
		1.5 nm @ 1 kV 减速模�? �?nbsp;DBS*	1.2 nm @ 1 kV
电子束参�?/td>	电子束流范围	0.8 pA ~ 176 nA	0.8 pA ~ 100 nA
	加速电压范図�/td>	200 V ~ 30 kV	350 V ~ 30 kV
	着陆电厊�/td>	20 eV ~ 30 keV	20 eV ~ 30 keV
	**水平视场宽度	2.3 mm @ 4 mm WD	2.3 mm @ 4 mm WD
探测�?/td>		Elstar 镜筒�?nbsp;SE/BSE 探测�?nbsp;(TLD-SE, TLD-BSE)
		Elstar 镜筒�?nbsp;SE/BSE 探测�?nbsp;(ICD)*
		Elstar 镜筒�?nbsp;BSE 探测�?nbsp;(MD)*
		样品室内 Everhart-Thornley SE 探测�?nbsp;(ETD)
		红外相机
		高性能离子转换和电子探测器 (SE)*
		样品室内 Nav-Cam 导航相机*
		可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射探测�?nbsp;(DBS)*
		可伸缩STEM 3+ 探测�?
		电子束流测量
样品台和样品	样品�?/td>	高度灵活的五轴电动样品台	压电陶瓷驱动 XYR 轴的高精度五轴电动工作台
	XY	110 mm	150 mm
	Z	65 mm	10 mm
	R	360° (连续)	360° (连续)
	倾斜	-15° ~ +90°	-10° ~ +60°
	**样品高度	与优中心点间�?nbsp;85 mm	与优中心点间�?nbsp;55 mm
	**样品质量	样品台任意位�?nbsp;500 g	样品台任意位�?nbsp;500 g
		0° 倾斜�?* 5 kg
	**样品尺寸	直径 110 mm可沿样品台旋转时	直径 150 mm可沿样品台旋转时
		优中心旋转和倾斜	优中心旋转和倾斜

更易于使用：


Helios 5 对所有经验水平用户而言都是*容易使用� DualBeam 系统。操作人员培训可以从几个月缩短到几天，其系统设计可帮助所有操作人员在各种高级应用程序上实现一致、可重复的结果�





提高了生产率９�/strong>


Helios 5 � AutoTEM 5 软件的先进自动化功能，增强的可靠性和稳定性允许无人值守甚至夜间操作，显著提高样品制备通量�





改善时间和结果：
Helios 5 DualBeam 引入全新精细图像调节功能 FLASH （闪调）技术。借助 FLASH 技术，您只需在用户界面中进行简单的鼠标操作，系统即可“实时”进行消像散、透镜居中和图像聚焦。自动调整可以显著提高通量、数据质量并简化高质量图像的采集。平均而言，FLASH 技术可以使获得优化图像所需的时�?多缩� 10 倍、�/span>