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1200℃三温区三通道混气CVD系统
型号9/span>
OTF-1200X-80-III-F3LV
产品概述9/span>
OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE认证的三温区管式炉CVD系统,其管径?0mm,采用机械泵,它是由管式炉,三路浮子流量供气系统组成,其真空度可达到 10-2 torr、/span>
壳体结构 | ·双层壳体结构并带有风冷,使得壳体的表面温度小亍/span>60?/span> ·保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,可以减少热量的损失,环保节能 ·内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命 可开启式,更换炉管方侾/span> |
功率 | 5 KW |
电压 | AC 208-240V单相, 50/60 Hz |
加热元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
**工作温度 | 1200ℂ/span> |
连续工作温度 | 1100ℂ/span> |
**加热速率 | ?0 ?min |
石英?amp; 密封法兰 | ·80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在仪器内 ·仪器上已经安装有不锈钢真空密封法兰,压力表和阀?/span>(点击下面的图片查看详细的信息) · |
加热区长?/span> | ·三个温区长度: (880mm, 35" in total) ·温区1: 220mm (8.6" ) ·温区2: 440mm (17.3") 温区3: 220 mm (8.6")注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联糺/span> |
温控系统 | ·三个精密温度控制器,可独立控?/span> ·PID控制方式,通过PWM固体继电器、/span> ·30段可编程智能温度调节仪,并可设置30段升降温程序. ·带有过热和断偶保护功胼/span> 控温仪表操作视频 |
控温精度 | +/- 1ℂ/span> |
真空密封系统 | ·两个不锈钢密封法?/span>(上面已安装真空计和截止阀(/span>. ·通过机械泵真空度可以达到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用机械泵和分子泵,真空度可以达?/span>10-4 torr. ·漏气玆/span> < 5 m-torr / min · |
真空泴/span> | 采用双旋机械泵,机械泵上安装有进口的油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤?小微粒直径为0.3微米 |
数字式真空显示计 | 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5臲/span>1125 Torr.不需因测量气体种类不同而需要系数转捡/span> |
气体流量计和压力?/span> | ·三个浮子流量计,能够检测到气体的流 ·三路浮子量程分别丹/span> ·10-100 cc/min. ·16-160 cc/min. ·25-250 cc/min ·内部安装有一混气罏/span> 有一压力表安装在浮子流量供气系统侧面上,可以检测气体压力及混合槽的压力 |
阀?/span> | 四个不锈钢阀门安装在浮子流量供气系统侧面上,用于控制气体的流野/span> |
外形尺寸 | ·炉子: 1100 X 450 x 670mm 底部移动枵/span>: 600x600x597mm |
开门断甴/span> | 为保证使用安全,该电炉为开门断电设讠/span> |
净里/span> | ?/span>90 Kg |
运输重量 | 245 lbs |
质保朞/span> | 一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件 |
质量认证 |
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使用注意事项 | ·炉管内气压不可高亍/span>0.02MPa ·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程丹/span>0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 ·当炉体温度高亍/span>1000ℂspan style="color: rgb(0, 0, 0); font-size: 16px; font-family: 宋体;">时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状?/span> ·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 ·石英管的长时间使用温度<1100ℂ/span> 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大亍/span>0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等) |
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