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高真?位置真空闸阀
超高真空3位置真空闸阀
规格:
采用附销定气压缸, 可于?位置停止且准确定佌/p>
?位置利用Reed sensor传感器调整定佌/p>
开度重现性佳, 偏差量?＄/p>
可程式控?弹性大
材质 |
本体 |
304 S.S. |
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阀?/p> |
304 S.S. |
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闸门 |
304 S.S. |
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波纹箠/p> |
AM350 |
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使用寿命 |
HV :DN100 ~ 200_300,000 cycles DN250 ~ 50,000 cycles UHV :DN100 _ 100,000 cycles DN150 ~ 250_50,000 cycles |
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1大气压力下之漏率 |
?×10-9mbar․l /sec for O-ring ?×10-10mbar․l /sec for gasket seal |
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耐温限制 |
Open |
200 Viton®bonnet seal |
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Closed |
150 Viton®bonnet seal |
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使用压力范围 (mbar) |
HV: 1x10-8 1000 UHV: 1x10-10?000 |
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**使用压差 ΔP (mbar) |
30 before opening |
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标准密封 |
闸门 |
Viton O-ring |
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阀盕/p> |
Viton O-ring or OFHC copper gasket |
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驱动?/p> |
气动 Pneumatic |
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气压溏br/> 连接气管 |
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表面处理 |
表面抛砂处理 |
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选配 |
a. 位置指示?br clear="all"/> b. 气动控制电磁阀 |
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暂无数据
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