无油涡卷式真空泵

无油涡卷式真空泵为小尺寸、高性能及低成本的组合，设计用于清洁制程中快速、实用的真空泵，不适用于易爆裂、易燃、有毒、腐蚀性物质或含有粉末颗粒的制程使用、�/p>

于潮湿环境中抽取冷凝蒸气或从大气压力抽至真空(侊�如果相对湿度超过60�?，您必须先使用泵所附带的气镇。该泵是借由气冷搭配时数器以冷却。重量轻、无油且只需偶尔的日常维护、�/p>

产品细项

ISP 250C

产品特色

• 极限压力位�/p>

• 抽气速度�?/p>

• 零污染，无须油保兺�/p>

• 高性价毓�/p>

• **入口压力� 760 Torr

ISP-250C 无油涡卷式真空泵 规格国�/h3>

ISP-250C 无油涡卷式真空泵 技术资斘�/p>

替换玆�/strong>
50 Hz	15 m3h-1/ 8.8 ft3min-1
60 Hz	18 m3h-1/ 10.6 ft3min-1
**抽气速度
50 Hz	12.5 m3h-1/ 7.3 ft3min-1
60 Hz	15 m3h-1/ 8.8 ft3min-1
**真空�?/p>	1.6 x 10-2mbar / 1 x 10-2Torr
入口连接	NW25
出口连接	NW16
电机功率	0.4 kW
电源供应
1-phase, 50Hz	200/230 V
1-phase, 60Hz	110/115V
噪音程度	58db (A)
震动程度	1.5 mms-1
防护等级	IP44
密封性能(静�?	10-4mbar l s-1
作动温度范围	5 to 40ﾟC / 41 to 104ﾟC
重量
1-phase pump	25 kg / 55 lbs

ISP-250C 无油涡卷式真空泵 应用

• 扫描式电子显微镜

• 离子植入（电子束及终端装置）

• 一般清洁的抽真空应�?/p>

• 溅镀

• 涡轮分子泵的前级泴�/p>

• 稀有气体再循环

• 胶材干燥

• 旋转蒸镀设备

• 离心浓缩

• 真空炈�/p>

• 手套箰�/p>

• 真空腔体粗抽使用