参考价栻/p>5-10万元
型号
CIF-SEM品牌
CIF产地
中国样本
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CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗、/span>
产品特点
u 双等离子清洗溏/span>
u 一机多?/span>
u 高效低损伣/span>
技术参?/span>
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40 |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电溏/span> | 13.56MHz射频电源,射频功?-100W可调,自动匹配器 |
气体控制 | 标配双路50毫升/刅/span>气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影哌/span> |
气源选择 | 根据需汁/span>氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 美国MKS公司925-12010皮拉尻/span>真空计, 测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面 |
电源/功率 | 220V?0/60Hz+/span>300W |
可选配仵/span> | 可选氧气、氮气、氢气发生器?nbsp;氢气纯度?9.999%,输出流量0-300ml/min |
质量保证 | 二年质保,终身维抣/span> |
暂无数据
等离子清洗机也叫等离子清洁机、等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质?/p>
等离子表面处理仪是有用的对外表进行清洗、活化和涂层的处理工艺之一,能够用于处理各种资料,包括塑料、金属或许玻璃等。 等离子表面处理仪是什乇/p>