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SS-60系列台式扫描电镜具有体型小巧,占用空间小；
放大倍率30 ~60,000 X?5nm分辨率；
采用二次电子和背散电子双重探测器：/span>
SS-60扫描电镜具有强大软件功能,操作简?易于维护：/span>
国产扫描电镜，良好售后服务系统、/span>
产品说明９/strong>
?）放大倍率6万倍（Magnification Max 60,000 X）；
?）采用二次电子和背散射电子双重探测器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）；
??kV~30kV加速电压选择，图像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）；
?）通过选配EDS可进行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）；
?）Tilt?~90）载物台配置（可选择）（Tilt Stage configuration( optional)）、/span>
产品特性：
?）台式扫描电?体型小巧,占用空间小；
?）强大的软件功能,单窗口操作界?让用户操作方便简单；
?）软件实现检测图形实时存储；
?）扫描电镜产品结构设计简?易于维护及保养；
?）自动平台采用中心定位模?迅速定位待测样品、/span>
技术参数：
分辨玆/span> |
15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) |
|
放大倍率 |
30~60,000 X |
加速电厊/span> |
5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step) |
图像检浊/span> |
二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image |
背散射电子图?BSE)-Backscattered Electron Image |
|
* Multi Detector (SE+BSE) |
|
观察模式 |
Standard Mode |
Charge-up reduction mode |
|
电子枪系绞/span> |
|
灯丝类型 |
预对中钨灯丝 |
偏压系统 |
自动偏压方式 |
电子枪校止/span> |
手动方式 |
透镜构成 |
|
聚光镛/span> |
2段式磁线圈透镜 |
物镜 |
1段式磁线圈透镜 |
探测器类垊/span> |
SE Detector/ BSE Detector |
载物台系绞/span> |
自动或者手?/span> |
载物台移?/span> |
3轴（X，Y，R）或5轴（X，Y，R，Z，T（/span> |
图像偏移 |
Image shift X, Y Image Shift (±150μm) |
样品尺寸 |
高度40mm时直?0mm |
图像扫描 |
快速扫揎 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速扫?nbsp;: 640x480 (Scan time: 3 sec.) |
|
图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.) |
|
图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.) |
|
图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.) |
|
自动功能 |
自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调芁/span> |
图像存储格式 |
BMP, JPEG, PNG,TIFF |
数据显示 |
放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺筈/span> |
真空系统 |
高真空模弎/span> （旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min （涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空时间：3分钟以内 |
操控系统 |
鼠标和键盗/span> |
PC：台式电脑（Desk Top?nbsp; |
|
软件 |
图像文件打开，编辑，存储功能长度，面积，角度等测量功?设置?/span>初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式筈/span> |
体积 |
设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm |
重量 |
95kg |
设备环境 |
温度?5℃~30ℂ/span> 电源：Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz |
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