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氮化硅陶瓷烧结装备的主要配置如下９/span>
炉门：侧开门，台车装出斘/p>
炉壳：全碳钢/内层不锈?全不锈钢
炉胆：石墨保温或金属保温
加热器：石墨或钼加热佒/p>
工艺气路系统：体?质量流量计；手动阀/自动阀；进?国产
真空泵和真空计：进口/国产
人机界面：模拟屏/触摸?工控朹/p>
PLC：霍尼韦尔DCS控制器、西门子PLC、欧姆龙PLC
控温：霍尼韦尔DCS控制器、日本导电仪表、霍尼韦尔仪表、欧陆仪?/p>
热电偶：WRW-2300或红夕/p>
电器元件：天?正泰/施耐德/西门孏/p>
氮化硅陶瓷烧结装备的规格９/span>
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