CVD气相沉积炈�/p>

化学气相沉积炉应用领埞�/strong>

化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，妁�/span>C/C复合材料�?/span>SiC复合材料等的CVD�?/span>CVI处理、�/span>

化学气相沉积炈�/strong>产品规格

产品型号/规格W×H×L(mm)	600*600*1000	800*800*1200	1000*1000*1500	1200*1200*2500	1500*1500*3000	2500*2000*3600
装载重量(KG)	350	800	1500	2500	5000	10000
**温度(ℂ�span style=";padding: 0px;list-style: none">)	1500	1500	1500	1500	1500	1500
温度均匀�?span style="font-family:宋体;;padding: 0px;list-style: none">(ℂ�span style=";padding: 0px;list-style: none">)	±7.5	±7.5	±7.5	±10	±10	±15
加热功率(kw)	250	360	480	600	900	1200
极限真空�?span style=";padding: 0px;list-style: none">(Pa)	20	20	20	20	20	20
压升玆�span style=";padding: 0px;list-style: none">(Pa/h)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准、�/span>

化学气相沉积炉主要配�?/strong>

炉门：丝杠升陌�span style="font-family:宋体;;padding: 0px;list-style: none">//液压升降/手动升降；手动锁�?span style=";padding: 0px;list-style: none">/自动锁圈锁紧

炉壳：全碳钢/内层不锈钡�span style=";padding: 0px;list-style: none">/全不锈钢

炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毠�span style=";padding: 0px;list-style: none">/CFC

加热器：等静压石�?span style="font-family:宋体;;padding: 0px;list-style: none">/模压三高石墨/细颗粒石�?/span>

工艺气路系统：体�?span style="font-family:宋体;;padding: 0px;list-style: none">/质量流量计；手动阀/自动阀；进叢�span style=";padding: 0px;list-style: none">/国产

真空泵和真空讠�span style="font-family:宋体;;padding: 0px;list-style: none">---进口/国产

PLC：欧姆龙/西门孏�/span>

控温仪表：日本岛甴�span style="font-family:宋体;;padding: 0px;list-style: none">/英国欧陆

热电偶：C分度叶�span style=";padding: 0px;list-style: none">/S分度叶�span style=";padding: 0px;list-style: none">/K分度叶�span style=";padding: 0px;list-style: none">/N分度叶�/span>

记录仪：无纸记录�?span style="font-family:宋体;;padding: 0px;list-style: none">/有纸记录仪；进口/国产

人机界面：模拟屏/触摸屎�span style=";padding: 0px;list-style: none">/工控朹�/span>

电器元件：正�?span style="font-family:宋体;;padding: 0px;list-style: none">/施耐德/西门孏�/span>

料车：滚道式/叉车弎�span style=";padding: 0px;list-style: none">/叠加式超长传输料�?/span>

化学气相沉积炉技术特�?/strong>

本化学气相沉积炉**工作区尺寸可辽�span style="font-family:宋体;;padding: 0px;list-style: none">2.5m×2m×4.5m，能满足超大型工件化学气相沉积处理需求；

本化学气相沉积炉采用多温区独立控温，温度均匀性好：�/span>

本化学气相沉积炉采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强：�/span>

本化学气相沉积炉采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好：�/span>

本化学气相沉积炉对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理、�/span>