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Etelux伊特克斯高真空电阻热蒸发&电子枪镀膜机&手套箰/h1>
产品描述9/span>
Lab2000 Auto系列是一种多功能镀膜设备(热蒸叐span style="font-family: Calibri;">/热阻蒸发和电子束蒸发可选),设计用于满足科研工作者和电子显微学家的需求、/span>
可配备各种真空系统、真空腔室和标准化工艺附件,提供一系列实验技术以满足现代化实验室的需要。可选择配置钟罩式玻璃腔室、圆柱形玻璃腔室,也可以配置通用的前开门式不锈钢箱式腔室。腔室具有额外的高度与宽度,适用于安装较多的工艺附件、/span>
客户可选择的模块化工艺附件,包括热阻蒸发源及其控制电源、电子束蒸发源、遮挡板、基片夹具以及膜厚监控仪等、/span>
真空系统由触屏PLC控制和监控,易于操作;高真空泵选择包括扩散泵、涡轮分子泵、冷凝泵,并使用油封或干式泵作为支持泵。集成的具有备用电池的高真空阀门可在意外情况时保护泵和样品、/span>
产品特点9/span>
触屏PLC自动控制真空系统
多种可选薄膜沉积源和电溏/span>
多种可选样品夹其/span>
多种可选真空腔宣/span>
智能高真空阀门保护泵及样?/span>
紧凑型设计,*小化空间占用
无需压缩空气
完整的安全使用互锁保抣/span>
主要应用9/span>
抗反射涂屁/span>
半导佒/span>
镜面
介质屁/span>
有机?聚合物和OLED
光电子研穵/span>
复合物半导体
太阳能电江/span>
纳米技?/span>
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