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JSM-7610FPlus 热场发射扫描电子显微镛/p>
广受好评的JSM-7610F的光学系统经过改进,实现了分辨率15kV 0.8nm?kV 1.0nm的进一步提升,以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统,提供稳定的高空间分辨率观察和分析。此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性、/p>
广受好评的JSM-7610F的光学系统经过改进,实现了分辨率?5kV 0.8nm?kV 1.0nm)的进一步提升,以崭新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统,能提供稳定的高空间分辨率观察和分析、/span>
此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。主要特点如下:
?nbsp;半浸没式?/span>镛/span>
半浸没式物镜在样品周围形成强磁场,因而可?/span>获得超高分辨率、/span>
?nbsp;High Power Optics
High Power Optics 是独特的电子光学系统,既实现了高倍率观察又能进行多种分析、/span>
浸没式肖特基场发射电子枪,可以获?0 倍于传统肖特培/span>圹/span>发射电子枪(FEG)的探针电流?*光阑角控制镜(ALC(/span>在探针电流增大时也能保持小束斑,两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统+/span>仍/span>高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的*小物镜光阑而不需要改换、/span>
浸没式肖特基场发射电子枪
浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合,?/span>?/span>有效?/span>收集从电子枪内发射的电子、/span>
**光阑角控制镜(ACL(/span>
**光阑角控制镜(ACL)配置在物镜的上方,在整个探钇/span>电流茂/span>围内自动优化物镜光阑的角度。因此,即使照射样品的探针电流很大,与传统方式相比,也能获得很小的电子束斑、/span>
即使探针电流很大,束斑直径也很小
长时间分析时稳定度也很高
?nbsp;柔和电子束(GB:GENTLEBEAMTM)模弎/span>
GB 模式的效枛br/>
GB 模式在低电压下提高分辨率
左图一般模式,右图GB模式
增强了的低加速电压下的分辨率
?nbsp;r-过滤?/span>
?nbsp;LABE检测器(选配件)
利用LABE 检测器获取低角度背散射电子僎/span>
?nbsp;扩展?/span>
能谱仪(EDS(/span>
波谱仪(WDS(/span>
阴极荧光系统(CL(/span>
暂无数据