参考价栻/p>100-150万元
型号
VCVD品牌
顶立科技产地
湖南样本
暂无金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>真空
温控精度９/p>±5
最高温度：
1500额定温度９/p>1500
非金属电热元件：
其他
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立式化学气相沉积炉（SiC、BN（/p>
产品描述９/p>
立式化学气相沉积炉（SiC、BN）可用于材料的表面涂层、基体改性、复合材料制备等
应用范围９/p>
外延片基座、晶体炉高温耐材、热弯模具、半导体坩埚、陶瓷基复合材料筈/p>
采用先进的控制技术，能精密控制MTS的流量和压力，炉膛内沉积气流稳定，压力波动范围小：/span>
全密闭沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
多通道工艺气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好：/span>
多级高效尾气处理系统，能有效处理高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物，环境友好：/span>
可选配新设计的防腐蚀真空机组，持续工作时间长，维修率极低：/span>
使用工艺气氛：真?CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS、/span>
| 参数\型号 | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608-SIC | VCVD-0812-SIC | VCVD-1120-SIC | VCVD-1520-SIC |
| 工作区尺寸D×H（mm（/td> | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1500×2000 |
| **温度（℃（/td> | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 温度均匀性（℃） | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
| 极限真空度（Pa（/td> | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 压升率（Pa/h（/td> | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准、/p>
结构形式：卧?单开?双开门；立式-上出?下出斘/span>
炉门锁紧方式：手?自动
炉壳材质：内层不锈钢/全不锈钢
保温材质：碳?石墨?碳纤维固化毡/陶瓷纤维毠/span>
加热器、马弗材质：石墨/CFC/金属
热电偶：K/N/C/S分度叶/span>
真空泵：机械泵组/耐腐蚀泵组
暂无数据
近日，顶立科技成功通过中国核工业集团有限公司供应商资格考察评审，正式被授予中核集团合格供应商证书。合格供应商的取得，标志着中核集团对公司在规范管理、技术能力和质量保证等方面的高度认可。中核集团，作为成/p>
9?9日，顶立科技举办“职工之家”启动仪式。长沙县人大副主任、总工会主席陈卫球，长沙县总工会党组书记艾英等领导出席，顶立科技副总经理、工会主席胡祥龙，顶立科技工会副主席叶含春等代表参加启动仪式。自仉/p>
9?日，湖南省科技大会暨科学技术奖励大会在长沙召开。会议集中表彰为全省科技事业发展作出突出贡献的单位和科技工作者。顶立科技胡祥龙博士团队研究完成《大尺寸航天碳基复合材料超高温热处理装备关键技术及应用
所谓复合材料是指由两种或两种以上的组分材料，运用一定的工艺技术制备组合而成的多相新材料体系，其综合性能优于各自组分材料。先进复合材料指用高性能增强体如碳纤维、芳纶等高性能耐热高聚物构成的复合材料，包?/p>
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