非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>镍铜东/span>
烧结气氛9/p>真空
温控精度9/p>±5
最高温度:
1500额定温度9/p>1500
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立式化学气相沉积炉(沉积炭)可用于以碳氢气体(如C3H8、CH4等)为碳源的材料表面或基体等?/span>CVD/CVI处理、/span>
?nbsp;采用多温区独立控温,温度均匀性好:/span>
?nbsp;采用特殊结构沉积室,密封效果好,抗污染能力强:/span>
?nbsp;采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好:/span>
?nbsp;对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效处理、/span>
参数\型号 | VCVD-0305-C | VCVD-0608-C | VCVD-0812-C | VCVD-1120-C | VCVD-1320-C | VCVD-1520-C |
工作区尺寸D×H(mm(/td> | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1100×2000 | Φ1300×2000 | Φ1500×2000 |
**温度(℃(/td> | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
温度均匀性(℃) | ±5/±10 | ±7.5/±10 | ±7.5/±15 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±10/±20 |
极限真空度(Pa(/td> | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
压升率(Pa/h(/td> | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加热方式 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 | 电阻/感应 |
参数\型号 | VCVD-1822-C | VCVD-2032-C | VCVD-2632-C | VCVD-3338-C | VCVD-3344-C |
工作区尺寸D×H(mm(/td> | Φ1800×2200 | Φ2000×3200 | Φ2600×3200 | Φ3300×3800 | Φ3300×4400 |
**温度(℃(/td> | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
温度均匀性(℃) | ±15 | ±15 | ±15 | ±20 | ±20 |
极限真空度(Pa(/td> | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
压升率(Pa/h(/td> | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加热方式 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 | 电阻 |
以上参数可根据工艺要求进行调整,不作为验收依据,具体以技术方案和协议为准、/p>
?nbsp;炉门:丝杆升?液压升降/手动升降;旋转移开/平行移开(大尺寸炉门);手动锁紧/自动锁圈锁紧
?nbsp;炉壳:全碳钢/内层不锈?全不锈钢
?nbsp;炉胆:软碳毡/软石墨毡/硬质复合?CFC
?nbsp;加热器、马弗:等静压石?模压三高石墨/细颗粒石?/span>
?nbsp;工艺气路系统:体?质量流量计;手动阀/自动阀;进?国产
?nbsp;热电偶:K分度?N分度?C分度?S分度叶/span>
暂无数据
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