参考价栻/p>1-5万元
型号
YRTP-1100品牌
上海煜志产地
上海样本
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产品介绍
YRTP快速退火炉是一款多功能的真空气氛烧结炉,既可以用于材料的快速升降温退火,也可用于化学气相沉积(CVD)法,在镍或铜箔上制备石墨烯的制备,稍加调整,一机多用,被广泛的应用各研究院所、/span>
加热系统采用环形红外短波加热器,*快升温速率可达300?S,测温采用精准的S型贵金属热电偶直接测量式样表面,使加热工件(式样)的温区更加均匀准确,控制界面采用大尺寸触摸屏,傻瓜智能式操作,可预设置十条温度曲线。控制数学模型采用先进的PID自学习模糊双闭环控制模式,使控温精度在快速升温的恒温状态仍能保持在±3℃,经过长期多次的各种试样试验验证,已被应用于半导体器件研发及生产等领域,广泛满足离子注入后的快速退火,欧姆接触快速合金,硅化物合金退火,氧化物生长,铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积及其它快速热处理工艺的要求、/span>
技术参?/span>
产品型号 |
YRTP-1100 |
炉体结构 |
双层壳体结构,高精度移动平台 |
额定温度(℃(/span> |
1100 |
使用温度(℃(/span> |
?000 |
温场均匀性(℃) |
±3ℂ/span> |
温度状态工艺时间(S) |
2~100?00~1000℃) |
*快升温速(?S(/span> |
200 |
降温速率(℃/S(/span> |
1~200(通氮气,速率更快(/span> |
温度控制模式 |
智能模糊全闭环PID控制 |
操作方式 |
触摸屏控刵/span> |
超高温状态检浊/span> |
软件检测出温度信息出现高温异常时,切断主回?/span> |
触摸屏尺寷/span> |
7"LED |
**功率(kW(/span> |
15 |
额定电压 |
AC380~400V?0HZ?0Hz定制(/span> |
传感器类垊/span> |
S型单铂铑 |
反应腔室内径尺寸 |
Φ100X200 |
式样有效空间 |
4" |
真空系统 |
选配 |
预留真空抽口 |
KF16 |
进出气接叢/span> |
Φ6卡套 |
尺寸重量 |
?000×?00×?00mm;净重:?0kg |
可根据客户要求定制!
暂无数据
近日,伊朗Tafan公司CEO Saeed Philsouphlan 专程来访,先后参观了中杭嘉悦杭州总部及上海国际营销中心。并就未来的合作事宜进行了深入讨论,Philsouph