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| 半自动分析探针台 | |||||
| 型号 | SHCV-6 | SHCV-8 | SHCV-12 | ||
| 外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1300mm*920mm*920mm | ||
| 重量 | ?/span>180KG | ?/span>250KG | ?/span>380KG | ||
| 电力需汁/span> | AC220V,50~60HZ | ||||
| Chuck | 尺寸 | 6英寸 | 8英寸 | 12英寸 | |
| X-Y轴行稊/span> | 6*6英寸 | 8*8英寸 | 12*12英寸 | ||
| X-Y轴移动解析度 | 0.1um | ||||
| X-Y轴重复定位精?/span> | ±1um | ||||
| 移动速度 | ?/span>50mm/sec | ||||
| Z轴行稊/span> | 10mm | ||||
| Z轴移动解析度 | 0.1um | ||||
| Z轴重复定位精?/span> | ±1um | ||||
| Theta角度行程 | ±10° | Theta角度解析?/span> | 0.0001° | ||
| 样品固定方式 | 多孔真空吸附，独立分区控刵/span> | ||||
| 切换样品功能 | 样品台快速拉凹/span> | ||||
| 结构 | 同轴高压设计，镀金，电学独立悬空，可作为背电极使?/span> | ||||
| 针座平台 | 规格 | O型平台，*多可放置8个针?/span> | O型平台，*多可放置10个针?/span> | O型平台，*多可放置12个针?/span> | |
| 行程&调节方式 | 平台可以快速升降，行程6mm并带自动锁定功能 | ||||
| 温控特?/span> | 温度范围 | ﹢/span>100~200ℂ/span> | ﹢/span>80~200ℂ/span> | ﹢/span>60~200ℂ/span> | |
| 温控精度 | 温度分辨玆/span>９/span>0.01°C | ||||
| 加热电源 | LVDC低压直流 | ||||
| *低控温速率 | ±0.1°C/小时 | ||||
| 传感?/span> | Pt100 | ||||
| 制冷方式 | 液氮制冷或者压缩机制冷 | ||||
| 软件功能 | wafermap的编辐/span> | 光学特?/span> | 显微镜行稊/span> | 2*2inch | |
| 仪器的接?/span> | 显微镜行稊/span> | 1um | |||
| 数据的采集和图像化显礹/span> | 放大倍数 | 20-4000X | |||
| 数据的分枏/span> | CCD像素 | 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） | |||
| 差异数据的标宙/span>Inkmark | 点针规格 | 点针精度 | 10微米/2微米/0.7微米 | ||
| 自定么/span>Bin刅/span> | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm | |||
| 自动测试 | 漏电精度 | 10pA/100fA | |||
| 通讯接口９/span>RS232/484TCP/IP/,GPIB筈/span> | 接口形式 | 香蕉夳/span>/鳄鱼夸/span>/同轴/叁轴/SMA＋/span>SHV接口 | |||
| 大功率规栻/span> | 配置 | 大功玆/span>kelvin样品?/span> | 减震 | 主动式减震系统，能够实现50X物镜下画面不抖动 | |
| 大功率夹具线缅/span> | 可选附仵/span> | 射频测试 | chuck快速拉出装?/span> | ||
| mult-pin分流探针 | 卡盘镀釐/span> | PCB板夹其/span> | |||
| 大功率保护模块（针座用） | 激光修夌/span> | 液晶热点侦测套装 | |||
| 保护红外光幕，防止人员误进入工作区，触发旵/span>interlock互锁 | 探针卡夹其/span> | 光强/波长测试接口部件 | |||
| 大功率仪器连接模坖/span> | 屏蔽箰/span> | 高低温样品台＇/span>-80~200℃） | |||
| **测试电压 | 10KV | 加热?/span> | 显微镜倾仰装置 | ||
| **测试电流 | 500A（脉冲） | 应用方向 | 晶圆测试，功率器件半自动测试 | ||
| 特点９/span> | |||||
| Si/SiC/GaN等晶圆测诔/span> | 超高的测试精度和测试效率 | ||||
| 大功率晶圆测诔/span> | 便捷的仪器接?/span> | ||||
| ＇/span>-80~200℃）高低?/span>Chuck | 半自动测诔/span> | ||||
| 20~4000X光学显微放大 | 可升级全自动测试 | ||||
| 功能丰富的测试软仵/span> | 可升级射频测诔/span> | ||||
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