操作方式9/p>间歇弎/span>
适用物料9/p>多种可用
看了CVD管式炉的用户又看亅/p>
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产品应用
高真穹/span>CVD系统是一款专业在沉底材料上生长高质量石墨烯、碳纳米管、碳化硅的专用设备,广泛应用于在半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域、/span>
产品特点
高真空CVD系统主要由高温腔体、石英管、石英支架、气路系统、分子泵机组、自动化控制系统、冷却系统等组成、/span>
1、沉底材料可采用铜箔、石墨等;
2、生长腔体采用进口高纯石英管,配石英支架、为石墨烯等材料的生长提供洁净环境;
3、炉膛采?/span>进口高纯氧化铝多晶体纤维,不易掉粉、寿命长且保温性能好。加热丝采用优质掺钼铁铬铝合金加热丝,温场均匀,能耗低:/span>
4、密封法兰均采用不锈钢材质,配水冷套,可连续长时间工佛
5、气路系统采用两路质量流量计(可拓展多?,配预混系绞
6、气体种类: He/Ar、C2H2、NH3、N2, H2、PH3、GeH4、B2H6:/span>
7、温度、气体、真空、冷却水等通过PLC控制,通过PC实时控制和显示相关的实验参数,自动保存实验参数,也可采用手动控制:/span>
8、系统采用集成化设计,控制系统、混气罐、质量流量计等均内置在箱体内部,占地面积小。整体安装四个可移动轮子,方便整体移动、/span>
暂无数据
真空炉无废气、烟尘,无废水、废渣,无环境污染,改善了劳动条件,被称作光亮热处理、清洁热处理和绿色热处理。真空炉加热工件无氧化、无脱碳、无合金元素贫化,脱脂脱气,真空提纯,避免氢脆,能实?/p>
真空热压炉的结构详细说明?nbsp; (一)真空热压炉炉体部分: 真空热压炉炉体为立式炉壳其内层为不锈钢制成的园筒外层为碳钢。两层之间形成夹套可以通冷却水