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手套箱蒸镀一体机
工作原理
本系统由真空镀膜系统和手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测、/p>
设备用逓/strong>
主要用于太阳能电池钙钛矿、OLED和PLED、半导体制备等实验研究与应用、/p>
优点
蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备、/p>
多功能磁控溅射镀膜系绞/strong>
主要用逓/strong>
用于制备各种金属膜、半导体膜、介质膜、磁控膜、光学膜、超导膜、传感膜以及各种特殊需求的功能薄膜、/p>
暂无数据
会议时间时间?022?1?0?3日地点:山东省济南市会议背景中国化学会第十七届全国有机合成化学学术研讨会,由中国化学会有机化学学科委员会、山东大学共同主办,山东大学化学与化工学院承办,山东大学
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1?nbsp; 水氧含量大于200ppm 原因:新箱调试或误操作。办法:停止循环,开启清洗,清洗?00ppm以下,开启循环??nbsp; 屏幕显示主阀压力不足0.4MPa
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