1

炉膛模式

开启式炉膛

2

显示模式

7英寸触摸屎�/span>

3

极限温度

1200ℂ�/span>

4

工作温度

≣�/span>1150ℂ�/span>

5

升温速率

建议10ℂ�/span>/Min Max９�/span>30ℂ�/span>/Min

6

加热温区

協�/span>温区

7

单温区长�?/span>

200mm

8

炉管规格

60*1150mm

9

控温精度

±1ℂ�/span>

10

密封方式

快速法兰密�?/span>

11

温度曲线

30殴�/span>"时间–�/span>温度曲线"任意可设

12

预存曲线

可预字�/span>15条温度曲纾�/span>

13

超温报警

月�/span>

14

过流保护

月�/span>

15

断偶提示

月�/span>

16

测温元件

K型热电偶

17

炉膛材料

氧化铝纤绳�/span>

18

外形尺寸

800*560*1500MM

射频电源功率

1

信号频率

13.56 MHz±0.005%

2

功率输出范围

5W-300W

3

功率稳定�?/span>

±0.1%

4

谐波分量

�?50dbc

5

供电电压

单相交流＇�/span>187V-253V（�/span>频率50/60HZ

6

整机效率

>=70%

7

功率因素

>=90%

8

冷却方式

强制风冷

9

真空部分

10

工作电电厊�/span>

220V±10% 50~60HZ

11

功率

500W

12

抽气速率

2Ls

13

进气口口徃�/span>

KF16

14

排气口口徃�/span>

KF16

15

转逞�/span>

1450rpm

16

噪音

55dB

17

极限真空

4X10^-2Pa

气路系统（标�?路普通质量流量计，更精准的可选配（�/span>

1

1,2气路采用DB07K系列

准确度：±1.5%

重复精度９�/span>±0.2%

响应时间：气特性：1｝�/span>4 Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围９�/span>0.1｝�/span>0.5 MPa

2

3路采用高精度CS200系列

准确度：±0.35%FS ±1.0%SP

线性：±0.5%FS

重复精度９�/span>±0.2%FS

响应时间：气特性：1Sec

整机系统特色

1

正压测量

-100Kpa---100Kpa

2

真空测量

10^-2Pa�?00Kpa（支�?/span>Ar测量（�/span>

3

正压保护

支持

4

压力恒定

支持

5

智能气路

支持