多弧离子镀膜设夆/h3>
多弧离子镀膜机由镀膜室、N个电弧靶、弧电源,真空获得系统、旋转工件架、管状加热器、气路系统、水路系统、控制系统等组成、/p>
| 多弧离子镀膜设备应?/strong>
多弧离子镀膜设备参?/strong>
舱体尺寸?000×1200?150×1200?200×1300?400×1300?600×1300 电源类型:直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电溏/p> 多弧靶:多弧?个或18个,1个或2个柱弧靶 孪生靶:中频孪生柱靶或平面靶1-4寸/p> 舱体结构:立式前开门结构(双层水套或水槽式冷却)、后置抽气系绞/p> 真空系统:滑阀?罗茨?扩散?维持泵(可选装:分子泵、深冷泵、深冷系统) 加热系统:常温至350度可调可控(PID控温),不锈钢加热管加热 气路系统?-4路MFC 极限真空?×10?pa(空载) 抽气时间:空载大气抽?×10?pa小于13分钟 保压率:1h?.6pa 旋转方式:上旋转或下旋转+公自转变频无级可控可调?-20?刅/p> 控制方式:全自动、触摸屏+PLC
|