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本产品主要用于溶胵/span>-凝胶法对不同溶液制备多层薄膜材料。将不同溶液放置在旋转台上,将洁净基片夹持在夹具上,通过设置镀膜程序,基片进入溶液提拉镀膜,然后旋转台将下一层薄膜的溶液自动旋转至基片正下方,然后基片下降进入溶液提拉镀膜,后续膜层依次完成。不同溶液、不同材料的膜层和混插浸镀。例如可以按照溶液顺序排刖/span>123456镀膜,也可按照混合排列136425镀膜。一次镀膜流程可?夙/span>6种溶液(材料)做20层薄膜。整个基片浸渍镀膜参数、溶液旋转、不同膜层的间隔时间等流程由镀膜程序全自动控制、/span>
?产品简今/span>
浸渍提拉镀膜机是专门为液相(特别是sol-gel法)制备薄膜材料的研究工作而设计,对不同液体通过浸渍提拉生长薄膜。提拉速度、提拉高度、浸渍时间、镀膜次数(多次多层镀膜)、镀膜间隔时间均连续可调、精密控制。对镀膜基质无特殊要求,片状、块状、圆柱状等均可镀膜。运行稳定、工作时液面无振动,可极大提高实验精度与实验效率、/span>
适用于硅片、晶片、玻璃、陶瓷、金属等所有固体材料表面涂覆工艺。应用于科学研究、产品生产、/span>
?产品特点
1.提拉装置、程序控制系统均采用中国台湾及德国进口产品,确保运行精度及稳定性;
2.可对不同溶液(材料)进行全自动多层浸渍提拉镀膜;
3.多参数全自动程序控制。共有六个参数设置:下降速度、浸渍时间、提拉速度、镀膜尺寸、镀膜次数、镀膜间隔时间,各参数均连续可调,精密控制、/span>
4.镀膜程序设定后,从下降到浸渍,再到提拉镀膜的整个镀膜过程全自动运行、/span>
5.高、低速均运行平稳+strong>镀膜时液面无振动,使膜层更均匀、无条纹、/span>
6.采用4.3英寸液晶触摸屏使控制更方侾/span>。运行时,各项参数实时显示,更直观了解镀膜进程、/span>
7.上下两端均安装有限位传感器,提拉或下降运行时,到限位处自动停止,避免提拉或下降的超限运行、/span>
8.采用独特设计的平口型夹具,两面均匀夹持样片,不会夹坏样片、/span>
?技术参?/span>
1.提拉速度范围9/span>1}/span>5000 μm/s?小分辨率1μm/s:/span>
2.速度精度9/span>-0.02%}/span>+0.02%
3.**行程9/span>230 mm
4.适用基片尺寸9/span>MIN 10×10 mm+/span>MAX 100×100 mm,厚?/span>MAX 10mm:/span>
5.浸渍时间9/span>1}/span>1200 s?小分辨率1s:/span>
6.溶液种类9/span>MAX 6种;(旋转台上有6个位置,*多可放置6种材料的溶液(/span>
7.旋转台转速:0.001}/span>1 r/s:/span>
8.旋转台尺寸:Ø180 mm:/span>
9.旋转台控制方式:自动程序控制:/span>
10.镀膜次数:1}/span>20次,*尐/span>1次;
11.每次镀膜间隔时间:1}/span>3600 s?小分辨率1s:/span>
12.电源9/span>220V/50Hz
提拉速度、提拉高度、浸渍时间、镀膜次数(多次多层镀膜)、镀膜间隔时间均连续可调、精密控制。对镀膜基质无特殊要求,片状、块状、圆柱状等均可镀膜。运行稳定、工作时液面无振动,可极大提高实验精度与实验效率