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成都华宇东升微波设备有限公司
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产品简今/div>
性能特点９/span>
֍具有无热阴极、电离度高的特点 ֍具有可忽略放电室壁的散射的特?/span> ֍能在低真空度下工佛/span> ֍设备性能稳定，使用寿命长 |
主要技术参数：
微波源输出功玆/span> |
260W 1500W |
| 极限真空?/span> | ?×10-5Pa·m3/s |
| 气体质量流量控制 | 多路 |
| 工作气压 | 1Pa - 200Pa |
| 磁场强度 | 0 - 1000高斯可调 |
| 偏压 | 0V - 300V |
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