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成都华宇东升微波设备有限公司
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产品简今/div>
微波等离子化学气相沉积（MPCVD）系绞/span> —?nbsp;A垊/span> 一款典型的微波等离子体化学气相沉积装置，可以在50mm直径的衬底范围内进行金刚石单晶和多晶生长、/span> 应用领域：工具、热沉、光学窗口、宝石等、/span> |
性能特点９/span>
֍**功率达到6kW ֍微波反应腔新型设计，功率密度?/span> ֍产品沉积速率快、沉积质量高 ֍采用水冷全金属腔佒/span> ֍采用高效散热的样品台 ֍设备安全性高、耐用性高?span style="font-family: 微软雅黑, "font-size:16px;";">可靠性强 ֍多参数实时监测，PLC屏幕控制，简捷的人机交互界面 |
主要技术参数：
| 微波功率 |
0.6kW ?kW 连续可调 2.45GHz |
| 反应腓/span> | 圆柱形反应腔 |
| 真空漏率 | ?×10-10Pa·m3/s |
| 气体质量流量控制 | 标配5路，可定刵/span> |
| 工作气压 | 1kPa - 30kPa |
| 样品?/span> | 一层升陌/span> |
| 基板台类垊/span> | 水冷式基板台 |
| 衬底扗/span> | **支持60mm直径圆台面积稳定沉积 |
| 操作系统 | PLC控制系统 |
| 样平台升降功胼/span> | 有，可逈/span> |
| 样品台旋转功胼/span> | 月/span> |
| 旋转模式 | 连续旋转、间歇旋?/span> |
| 旋转角度 | 360° |
| 旋转速度 | 0-20?分，可调芁/span> |
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