真空泴�/span>

Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泴�/span>

**入口压力1.0个大气压�?psig（�/span>＋�/span>**出口压力1.4个大气压�?.5psig（�/span>

**抽�?0L/min＋�/span>极限真空3.3 x 10-1mbar

KF16入口接口

等离子电溏�/span>

两种等离子体清洗源，原位等离子源和远程等离子源，自动匹配�?/span>

13.56MHz等离子RF电源�?-100W可调

清洗宣�/span>

清洗室尺寷�/span>(长X宽X髗�/span>)150X150X150mm

*多可放置3路TEM hoder，可清洗FEI、JOEL等TEM品牌样品杅�/span>

气体控制

美国MKS数字真空讠�/span>

两路清洗气体控制，可以外接如Ar或O2等清洗气佒�/span>

控制方式

7寸全彩触摸屏操控方式，人机互动界靡�/span>

冷却方式

风冷

电源

电源220V�?0/60Hz

质量保证

二年免费，终身维抣�/span>