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产品简今/div>
产品性能９/p>
应用于半导体行业LED、多用于MOCVD、HVPE（GaN工艺）废气处琅/p>
多级喷淋，使易溶于水或与配置溶液反应生成沉积的物质，以达到有毒腐蚀气体的回收，达标气体的安全排攽/p>
处理能力，科研型?0SLM，生产型?00/400-1500SLM
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