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产品性能９/p>
“热?分解”方式，节能、高效处理太阳能电池PECVD等设备的废气，将SiH4进行高温热解，将NH3直接进行分解，无需氨水处理，无需燃气、/p>
处理能力，生产型?00/600/1000/1500SLM
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