产品性能９/p>
*工作温度?00?200?2200ℂ/p>
*结构方式：水?垂直，片数：1/3/6/多片（科?生产型）
*多温区，动态高精度生长条件控制
*低压、常压、微正压工艺方式，衬底片升降、旋转（厚膜/晶体生长（/p>
