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PX系列—XCDA纯化?/h1>
纯化系列 |
脱除杂质ppb |
|||||||
气体 |
型号 |
纯化工艺 |
H2O |
CO2 |
挥发性酸VA |
挥发性碱VB |
耐熔化合物RC |
总有机碳TOC |
XCDA |
PX |
吸附 (Absorb) |
<0.1 ppb |
,/span> |
<10ppt |
<10ppt |
<10ppt |
<10ppt |
应用领域9/span>
纯化用于半导体应用的XCDA
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