PC/PCO系列—二氧化碳纯化器

纯化系列

脱除杂质ppb

气体

型号

纯化工艺

CH4

O2

H2O

H2

CO

挥发性酸VA

挥发性碱VB

耐熔化合物RC

可冷凝有机物Corg

不凝有机物Ncorg

CO2

PC

吸附 (Abs)

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PCO

催化+吸附（Cat+Abs（�/span>

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应用领域９�/span>

• 纯化用于半导体应用的二氧化碳

工艺介绍９�/span>

PC系列采用HPC特有纯化材料，通过吸附工序，深度脱除气体中的。上表中杂质O2、H2O、H2、CO、挥发性酸VA、挥发性碱VB、耐熔化合物RC、可冷凝有机物Corg、不凝有机物Ncorg等杂质。多个吸附器交替吸附、再生，实现对原料气体的连续纯化、�/span>

PC系列独立气体纯化系统通过现场原位再生和先进的技术，以高可靠性、低成本及高性能，有效的脱除CO2中的污染杂质，满足客户现场需�?

• PCO系列气体首先通过高温催化氧化工序，将气体中的CH4、还原性杂质与O2反应转化为H2O和CO2：�/span>

• 气体通过多柱吸附工序深度脱除气体中的CH4、O2、H2O、H2、CO、挥发性酸VA、挥发性碱VB、耐熔化合物RC、可冷凝有机物Corg、不凝有机物Ncorg等杂质；

• 吸附柱饱和后可通还原性气体加热再生，反复使用：�/span>

• 多柱交替吸附、再生，可实现对气体的连续纯化、�/span>