本设备是钙钛矿液涂布-真空-老化一体化设备。采用直线电机驱动载台运动，狭缝式涂布系统上下运动，在载台上的ITO/FTO导电玻璃平板上在一定距离进行精密涂布成形，在涂布后进入真空腔进行快速真空干燥成形钙钛矿膜片、�/span>

　　技术要求和参数９�/span>

　　1.1 适用基板尺寸�?*可放�?00mm×300mm的基材，带真空吸附载台；

　　1.2 基板类型：ITO/FTO导电玻璃平板：�/span>

　　2.1.1 涂布：日本制高精密产品用不锈钢涂布头：�/span>

　　2.1.2 **涂布面积300×300mm：�/span>

　　2.1.3 涂头高度可设定范� 0-50mm：�/span>

　　2.1.4 Z轴分辨率�?.0001mm；Y轴分辨率�?.001mm

　　2.1.7 采用无接触检测方式，涂头与平台平面的平行度使用千分头设置调整。（可选配电机调整方式（�/span>

　　2.1.8 涂头垫片厚度�?.05\0.08\0.1mm(可以定制)

　　2.2.1 供液泵：精密微量泵；

　　2.3.1带有预涂、涂头封合及余液收集功能：�/span>

　　平台材料：精密大理石平台：�/span>

　　传输装置：Y 轴和Z 轴的自动控制和定位，重复精度�?μm：�/span>

　　平台运动方式：采用无接触的直驱电机驱动，无摩擦，稳定性好、�/span>

　　载台采用特种合金材料或大理石；平整度：≤5μm：�/span>

　　玻璃基板固定方式：真空吸附；

　　配有涂后真空干燥腔、�/span>

　　配有涂后老化加热功能

　　机体结构采用封闭腔体，可隔离挥发气体和控制环墂�/span>

　　操作系统采用工业控制系统控制；可实现数据采集和统计功能、�/span>