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肇庆市宏华电子科技有限公司

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WG-1251全自动减薄机

WG-1251全自动减薄机
  • 品牌9span>宏华电子
  • 产地9span>广东
  • 关注度:385
  • 型号9span>WG-1251全自动减薄机
  • 报价9span class="jg_red">面议
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    技术特点:

    利用粗磨和精磨轨迹重合技术,显著提高了超薄晶圆磨削加工品质的稳定性,可实 12 英寸晶圆厚度100μm 以下精密减薄:br style="box-sizing: border-box;"/> 双主轴三工位全自动减薄机,可与单轴抛光机、保护膜处理设备组成联机系统,实现晶圆减薄到去应力技术的一体化;配备自主、优化的 12 英寸超精密空气主轴和气浮载台;具 SECS/GEM 联网功能、/span>

    性能指标9/span>

    WG-1251自动减薄朹/span>
    磨削方式 通过旋转晶圆,实现纵向切入式磨削
    结构方式 1根主? 3个承片台,1回转工作?/span>
    磨削尺寸
    mm Max.Ø300(Φ8?Φ12?
    磨轮直径
    mm Φ300
    主轴 主轴数量 - 2
    主轴功率 KW 7.5
    主轴转逞/td> rpm 1000-4000
    Z轴行稊/td> mm 120
    Z轴分辨率 µm 0.1
    承片?/td> 装片方式 - 真空吸附
    承片台类垊/td> - 多孔陶瓷式(8/12寸兼容)
    转逞/span> rpm 0-300
    承片台数野/td> 奖/td> 3
    减薄精度 片内厚度偏差 µm ?
    片间厚度偏差 µm ≤?
    表面粗糙度斤 µm ?.002(#20000 wheel,Si)
    设备 外形尺寸WxD×H mm 1445×3330×1895
    设备重量 kg ?700


    问商宵/div>

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    WG-1281全自动减薄机

    型号:WG-1281全自动减薄机

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    WG-1271超精密减薄机

    型号:WG-1271超精密减薄机

    面议
    WG-8501全自动减薄机

    型号:WG-8501全自动减薄机

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    工商信息

    企业名称

    肇庆市宏华电子科技有限公司

    企业类型

    信用代码

    91441200682437428C

    法人代表

    注册地址

    成立日期

    注册资本

    有效期限

    经营范围

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