
肇庆市宏华电子科技有限公司
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技术特点:
可切割碳化硅晶圆,通过参数设置可实现多次切割,支持**工件尺寸 200mmx200mm?nbsp;
搭配高精度主轴,满足更高切割品质的要求;龙门式结构,刚性高,稳定性好;标 Sub-CT 辅助磨刀功能,可实现切割过程中自动磨刀?*程度保证切割质量、/span>
性能指标9/span>
主轴 | 功率 | KW | 1.8 | |
转速范図/td> | rpm | 6000-60000 | ||
X轳/span> | 有效行程 | mm | 300 | |
速度范围 | mm/s | 0.1-600 | ||
分辨玆/td> | mm | 0.001 | ||
Y轳/span> | 有效行程 | mm | 300 | |
分辨玆/td> | mm | 0.0001 | ||
步进精度 | mm | 0.002/5 | ||
全程累积误差 | mm | 0.003/300 | ||
Z轳/span> | 有效行程 | mm | 30(使用µ58切割刀片时) | |
重复精度 | mm | 0.001 | ||
支持**刀具直徃/td> | mm | 58 | ||
Ð轳/td> | **转角 | deg | 380°?° | |
重复精度 | arc-sec | 1′/td> | ||
显微镛/td> | 镜头倍数 | - | 15x(可? | |
光源配置 | - | 环光•直先/td> | ||
光源配置 | - | 环光•直先/td> | ||
工件 | 圆形工件尺寸 | mm | µ8及以上/span> | |
方形工件尺寸 | mm | 200mmx200(无Sub-CT) 200mmx200 ( Sub-CT) |
||
其它 | 设备外形 | mm | 1085×1040×1805 | |
重量 | kg | 1200 |
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企业名称
肇庆市宏华电子科技有限公司企业类型
信用代码
91441200682437428C法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围